Occasion NIKON NSR SF130 #9222618 à vendre en France

NIKON NSR SF130 est un outil sophistiqué conçu pour fournir des capacités de traitement des plaquettes de précision. Ce pas sophistiqué supporte une variété de fonctions clés, y compris l'alignement de focalisation, l'alignement de superposition et l'exposition. NIKON NSR-SF130 utilise une technologie pas à pas qui offre une précision et une répétabilité supérieures pour une grande variété d'applications de traitement des plaquettes. La précision de la commande d'exposition et de la focalisation est obtenue au moyen d'un étage 2 axes de direction automatique qui est capable de positionner avec précision la plaquette à des nanomètres près de l'emplacement souhaité. L'équipement d'alignement intégré utilise une structure de reconnaissance de motifs pour aligner avec précision les zones structurées de la plaquette même lorsque les cibles d'exposition sont placées très près les unes des autres. Le SF130 est capable d'atteindre un haut niveau de débit grâce à son système d'exposition avancé. L'unité d'exposition comprend deux sources indépendantes qui assurent une exposition uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Cette machine multi-sources supporte une grande variété de longueurs d'onde et de types d'éclairage, y compris des temps partagés, des faisceaux multiples, un coupleur unique et des techniques d'exposition quad CMOS. L'outil d'exposition est encore amélioré avec une double capacité d'exposition simultanée qui permet de doubler la sortie avec la moitié du temps de cycle. NSR SF 130 wafer stepper dispose également d'un actif Auto-Focus XY-dépendante intégré fournissant un contrôle de focalisation prestigieusement fine. Le modèle Auto-Focus utilise un algorithme propriétaire qui combine des techniques de détection de bord et de gradient pour déterminer automatiquement le foyer d'exposition optimal. Cet équipement comprend également un contrôle actif et innovant qui optimise davantage les performances de l'auto-focus et compense les décalages mineurs par rapport au foyer d'exposition souhaité. NIKON NSR SF 130 est un outil de pointe de pas de plaquettes qui offre une précision, une répétabilité et un débit supérieurs pour le traitement des plaquettes. Cet outil fournit une solution puissante et fiable pour les applications de lithographie à semi-conducteurs qui nécessitent des niveaux élevés de précision et de reproductibilité. Le système d'exposition polyvalent, l'unité d'auto-focus intégrée et les capacités d'alignement avancées font du SF130 un choix supérieur pour les processus exigeants.