Occasion NIKON NSR SF130 #9237550 à vendre en France

NIKON NSR SF130 est un multichamp, la haute précision die-die (D2D) stepper pour la révision avancée de gaufrettes épaisses et d'étalages de comité plats. NIKON NSR-SF130 dispose d'un 12 mag avancé et de 15 mag double lentilles multi-champs - offrant ainsi des performances d'imagerie supérieures pour des applications de photolithographie très exigeantes. Cet équipement est capable d'exposer un seul champ modélisé en tout point de la zone d'imagerie 75mm x 75mm, et peut basculer entre deux champs de consigne en 2 secondes. En sélectionnant le mode pas et balayage à grande vitesse, ce pas peut placer de 3 à 6 plaquettes par heure et peut supporter des tailles de plaquettes de 8 pouces ou 12 pouces avec une zone de réduction de 1/3. Le système est capable d'une précision d'alignement fine avec des encodeurs linéaires, de focalisation et de contrôle de balayage avant-arrière en vol. Il dispose également d'une unité d'alignement automatisée pour assurer une précision supérieure de l'alignement de recouvrement et réduire les risques de désalignement. Cette machine intègre également un étage de haute précision avec des moteurs linéaires et un environnement contrôlé par la température pour une meilleure précision d'imagerie. Le NSR SF 130 dispose d'un mandrin et d'un dispositif de retenue pour la prévention du glissement du substrat, ce qui lui permet d'exposer et de transférer avec précision les photomasques autour de la plaquette. L'outil peut également utiliser différents types de photorésistes tels que l'oxyde thermique et amplifié chimiquement, et éviter la contamination des plaquettes lors du transfert. Le NIKON NSR SF 130 dispose de plusieurs dispositifs de sécurité robustes, tels qu'un bouton d'arrêt d'urgence et une remise à zéro, des fonctions de récupération automatique et des fonctions d'arrêt automatique. Cet actif utilise un modèle de contrôle facile à utiliser et peu entretenu qui permet un démarrage rapide, une maintenance simple et réduit les temps d'arrêt grâce à la traçabilité des entrées. NSR-SF130 combine une optique de pointe et une conception innovante pour assurer un contrôle maximal des processus et un équipement de manutention efficace des plaquettes. Cette étape utilise des fonctionnalités avancées telles que l'alignement complet et la détection des fuites de lumière, et atteint des niveaux élevés de rendement de production grâce à ses niveaux de précision serrés et ses capacités d'exposition à une seule plaquette. NSR SF130 est actuellement un chef de file dans son domaine et trouve des applications dans divers domaines, y compris la fabrication de semi-conducteurs et d'écrans plats, la recherche en sciences de la vie et d'autres domaines de l'imagerie de précision.