Occasion NIKON NSR SF130 #9243127 à vendre en France

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper est un équipement de lithographie ultra-haute vitesse de haute précision avec des capacités de performance pour une large gamme de dispositifs semi-conducteurs fabriquant des applications de traitement. Ce système est capable de fournir une résolution sous-50nm sur une large gamme dynamique, permettant la production de dispositifs haute performance et haute densité avec des coûts de processus optimisés. Il offre la meilleure qualité d'imagerie sur plaquettes à motifs, avec le débit et la productivité nécessaires pour augmenter le rendement et les performances de l'appareil. NIKON NSR-SF130 offre un débit très élevé, avec jusqu'à 5 000 plaquettes par heure pour les matériaux simples et jusqu'à 8 000 plaquettes par heure pour les matériaux multiples. Il offre également un alignement et une exposition ND à grande vitesse, avec la capacité d'effectuer plusieurs alignements de plaquettes à la fois. Cette unité dispose d'acquisition de données haute vitesse pour ajuster les paramètres d'exposition et d'optimisation des processus afin d'optimiser les performances de production en temps réel. L'algorithme NIST Quantum Deflection Multiple Subfield Algorithm (QDMSA) permet une performance d'imagerie optimisée tandis que la technologie d'imagerie AutoMatch réduit le temps d'alignement et fournit des coutures de plaquettes de haute précision. Le stepper dispose de la technologie de structuration flexible qui offre une capacité de largeur de ligne variable et supporte le travail sur les surplombs et divers angles de ligne, pour positionner avec précision les motifs, même dans les régions 3D difficiles. La machine dispose également de NGREELEX ultra haute résolution qui élimine la rugosité du bord de ligne et permet la production de dispositifs ultra-fins et performants. Le NSR SF 130 offre d'excellentes performances de production stables pour une exploitation à long terme, avec une construction anti-contamination construite pour une exploitation continue sur de longues périodes. Il offre un asservissement numérique pour un alignement et une exposition rapides et précis avec un minimum de vibrations. L'outil est également équipé de la technologie NIKON Smart Chip pour le fonctionnement intégré et le suivi des performances basées sur les motifs, y compris les paramètres de focalisation, de dose et d'exposition. L'actif NSR SF130 est idéal pour une utilisation dans des lignes de production à haut volume de semi-conducteurs et offre d'excellentes performances grâce à des solutions innovantes pour répondre aux exigences croissantes et à la complexité du développement de dispositifs semi-conducteurs.