Occasion NIKON NSR SF130 #9391655 à vendre en France

Le NIKON NSR SF130 est un pas de plaquette qui est essentiel pour créer des couches dans la production de dispositifs microélectroniques compliqués tels que les circuits intégrés (IC). Il se compose de deux éléments primaires : l'optique de projection et la scène. L'optique de projection est constituée d'une lentille montée sur un étage linéaire de précision et chargée de projeter des images sur la surface de la plaquette. Cette optique de projection est en outre située sur un étage qui se déplace dans les deux sens X et Y. Il utilise également des codeurs pour mesurer les mouvements de l'étage et fournir une rétroaction à l'équipement de contrôle. NIKON NSR-SF130 wafer stepper emploie les meilleures caractéristiques en classe pour assurer haute résolution et précision. Il dispose d'un excellent système de lentilles optiques de projection avec un NA de 0,97, qui fournit une grande netteté et linéarité, ainsi qu'une résolution efficace de 0,75 µm ou moins. En outre, ce pas de plaquette dispose d'une unité de protection robuste pour la lentille de projection et la plaquette, ainsi que d'un refroidissement convectif pour un débit élevé et stable. Le NSR SF 130 est également équipé d'une machine d'étalonnage d'uniformité de champ à deux rayons pour s'assurer que les images projetées et la taille des taches d'éclairage de l'étage restent pratiquement équivalentes de toutes les positions. De plus, la lentille de projection est fixée avec un stabilisateur de montage sur mesure pour éliminer les aberrations, ce qui permet une fixation parfaite sur la surface de la plaquette. Ce pas de plaquette fournit un outil d'alignement de plaquette pour une grande précision et une vitesse qui le rend idéal pour les environnements de production sensibles aux coûts. En outre, sa large gamme de réglages d'exposition le rend compatible avec les générateurs d'images et une gamme de photomasques. Enfin, ce pas de plaquette a les meilleures capacités pour assurer un débit élevé et une configuration précise des couches de circuits intégrés, ce qui en fait un précurseur dans la production des IC.