Occasion NIKON NSR SF130 #9391948 à vendre en France
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NIKON NSR SF130 Wafer Stepper est un équipement de haute performance et de haute précision qui est utilisé pour la génération de motifs lithographiques dans la fabrication de semi-conducteurs. Ce système est conçu pour la production de plaquettes sur 8 « , 12 » et des plaquettes plus grandes, et est utilisé dans les applications pas à pas de plaquettes, y compris l'alignement de couche critique et post-gravure. NIKON NSR-SF130 offre une résolution de 0,05 microns (1/20 000 de pouce) avec une répétabilité de 0,02 microns et une précision de non-orthogonalité de 0,5 degré. Il est capable de scanner une plaquette avec une vitesse de balayage allant jusqu'à 450mm/seconde. Il s'agit d'un pas de grand diamètre, monoplace et répétiteur, avec un alignement automatique de la machine. Cela signifie qu'il peut déplacer une plaquette et reproduire avec précision les caractéristiques sur toute la zone de la plaquette. NSR SF 130 Wafer Stepper est équipé d'une lentille de projection, qui lui permet de projeter des images de très petite taille. La source lumineuse est fournie par une caméra CCD ou un laser semi-conducteur, et a une gamme de longueurs d'onde de 320nm à 450nm. Avec un faisceau de signaux stabilisé, l'outil est capable de produire des motifs à l'échelle nanométrique avec une précision et une précision maximales. Grâce à sa technologie sophistiquée de détection d'images, les images sont capturées avec précision. L'actif a la capacité de détecter les décalages et les imperfections dans les images au niveau du sous-pixel, corrigeant ainsi les distorsions éventuelles. La précision d'usinage est encore améliorée par un modèle autofocus qui est utilisé pour ajuster l'optique pour obtenir le meilleur focus. NIKON NSR SF 130 Wafer Stepper offre également une variété de fonctionnalités d'optimisation d'image qui permettent à ses utilisateurs de contrôler sélectivement les niveaux d'exposition et l'amplitude de focalisation. Son équipement avancé d'enregistrement d'images évalue l'épaisseur et la topographie de la plaquette, permettant ainsi des recouvrements précis. Il est équipé d'un logiciel d'automatisation de données appelé NIKON GMS-MOTION qui simplifie les processus de correspondance de motifs et d'optimisation de débit. Ce système permet aux utilisateurs de créer des modèles, d'exécuter des tâches répétables par lots et d'afficher des informations sur le moniteur LCD. En outre, NIKON SF130 Wafer Stepper s'intègre aux postes de travail NIKON et peut être intégré avec des logiciels externes. NSR SF130 Wafer Stepper est un excellent investissement pour des projets de haute précision. Ses capacités d'imagerie avancées, sa construction robuste et sa flexibilité d'automatisation le rendent adapté à un large éventail de processus de fabrication de plaquettes. Avec sa grande précision et sa répétabilité, NSR-SF130 est idéal pour le développement de couches critiques dans les dispositifs semi-conducteurs et contribue à des rendements plus élevés et une plus grande productivité.
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