Occasion NIKON NSR SF140 #293630225 à vendre en France

NIKON NSR SF140 est un scanner lithographique à champ variable avec une large gamme d'applications, permettant un haut débit et un bon rapport coût-efficacité. Il s'agit d'un pas de plaquette 5 axes conçu pour offrir une qualité de motif exceptionnelle à partir des mises en page de masque les plus difficiles grâce à une combinaison de mouvement très précis, terrain plat, et de nouvelles optiques d'imagerie. Son système Intelligent Illumination Control (IIC) maintient des paramètres d'exposition constants, quelle que soit la taille, la disposition ou le champ de vision. Le SF140 offre un large champ de vision et une large plage de compatibilité de balayage, avec une largeur de champ allant jusqu'à 1 mètre et une hauteur de champ de 150 mm. Le SF140 offre également un débit de plaquettes très rapide et un chargement d'outil à haut débit en raison de son alignement automatisé et de sa capacité de balayage. Il supporte l'exposition au dos et la non-uniformité du champ pour augmenter encore la zone de puce exécutée en un seul balayage. Avec son indice de charge et de comptage (L&CI) pour le chargement et la manutention des plaquettes, il est possible de recharger rapidement différentes plaquettes sur l'étage, réduisant le temps et augmentant le débit. Le SF140 offre également une excellente uniformité d'image, car ses optiques avancées fournissent une grande profondeur de mise au point et une faible distorsion sur l'ensemble de son champ de vision. Il est également équipé d'algorithmes avancés de traitement d'image pour le calibrage des distorsions, la correction d'aberration et la compensation de l'érosion des bords. Sa structure d'imagerie et de focalisation haute résolution fonctionne en tandem, avec un pas de balayage contrôlable et une focalisation optique, permettant des motifs extrêmement fins et une superposition sans défaut, avec des résultats reproductibles. La conception basée sur le moteur à bobine vocale du SF140 offre une accélération ultra-rapide, une grande précision et aucun jeu mécanique. Il permet également l'alignement et le balayage simultanés multi-axes (soudage en roulis). Il est également bien adapté pour les techniques de double battage, en raison de sa petite taille de tache d'éclairage et de son temps de réponse rapide. D'autres caractéristiques comprennent un manipulateur de charge spatiale anti-électrons, un faisceau ionique axé sur la réflexion anti-électrons et un système d'alignement laser, qui sont tous importants pour l'exposition des plaquettes. Le SF140 dispose également d'un système de gestion de l'environnement faisceau en chambre, permettant des conditions d'imagerie stables et à faible distorsion, même dans des environnements moins que idéaux. La capacité de manutention robotique des plaquettes SF140 offre une manutention rapide et facile jusqu'à 50 plaquettes, augmentant encore le débit. Dans l'ensemble, NIKON NSR-SF140 offre une combinaison impressionnante de mouvements de précision, d'optique d'imagerie et de logiciels de pointe, ce qui permet d'obtenir un débit élevé, des capacités de configuration avancées et une excellente précision de superposition.