Occasion NIKON NSR SF155 #9298590 à vendre en France

NIKON NSR SF155 est un pas de plaquette conçu pour répondre aux exigences les plus strictes de la lithographie avancée. C'est une plate-forme très productive qui offre aux utilisateurs un bon rapport coût-efficacité, une uniformité de processus et une précision d'alignement rapide. Cet outil est équipé de la technologie brevetée « Super Resolution » de l'entreprise et d'un détecteur de débit de dose optimisé, lui permettant de produire les modèles de circuits nanométriques les plus avancés. Le NSR SF155 est un équipement SEMI étape et balayage à haute résolution à grand champ composé d'un module d'optique de photolithographie, d'un contrôleur d'exposition et d'un sous-système d'alignement de l'étage et de l'arrière de la plaquette. Le SF155 offre une performance optique supérieure, offrant plus de 55 % de vision et une ouverture numérique (NA) élevée de 1,46. Il est également capable de fournir une large gamme d'exposition allant de 5 microns à 300mm, permettant l'utilisation de procédés avancés de balisage. La plate-forme est alimentée par un contrôleur d'exposition NSR-EX qui fournit un contrôle moteur et une excellente précision de positionnement. Il offre un système d'alignement interférométrique flexible avec une unité d'alignement à sec intégrée et offre une précision d'alignement sous-nanométrique jusqu'à 10 angströms. La commande de mouvement de la machine est capable de 5nm dans les axes X et Y et sa portée de balayage peut atteindre 200nm. L'outil de photolithographie a une source laser de marquage laser pour l'alignement et dispose d'un chargeur automatique de 3 plaquettes pour augmenter la productivité et l'efficacité de travail. L'actif dispose également d'un progiciel d'imagerie intégré à l'ordinateur, offrant aux utilisateurs une large gamme de capacités fonctionnelles. La plate-forme peut être personnalisée avec diverses options telles qu'une plage de focalisation étendue, la cartographie des plaquettes et la simulation d'image 5D. NIKON NSR SF155 offre aussi une reconnaissance des formes avancée et un modèle d'analyse de profil de ligne qui soutient tant OPC que formats de données de RET. Il offre également la formation de plans tridimensionnels et la couture de motifs de ligne qui sont nécessaires pour les applications de lithographie les plus complexes. L'équipement est conçu pour des opérations à haut débit et offre des performances de balayage rapide avec un minimum de chocs et de vibrations. Dans l'ensemble, NSR SF155 est une plate-forme de lithographie efficace pour la fabrication avancée d'IC avec ses technologies sophistiquées et ses performances.