Occasion NIKON NSR SF155 #9311227 à vendre en France

NIKON NSR SF155 est un pas de plaquette conçu pour une productivité élevée et un masque polyvalent. Idéal pour la production d'appareils de pointe, y compris MEMS, LED et capteurs, le stepper offre des performances supérieures pour une grande variété d'applications. NSR SF155 est équipé de la dernière source de lithographie NIKON GEN5 et d'un équipement breveté de contrôle de l'uniformité radiale pour assurer une haute précision et un recouvrement stable. Sa scène de masque de 150 mm offre 74mm max X plage de recouvrement, et peut aligner une plaquette complète de 8 pouces. Système optique innovant NIKON et unité de zonage alignent la plaquette sur le masque avec une précision ≦ 15 μ m. L'unité de positionnement mécanique du pas offre une plage de course maximale de 150 mm avec une précision de niveau nanométrique, permettant un contrôle de position du substrat avec une seule exposition. NIKON NSR SF155 est conçu pour un débit élevé. Il dispose de la machine de balayage en fréquence asymétrique NIKON rapide et efficace (AFSS) qui peut atteindre un débit de 510WPH dans un processus de balayage en une étape. Le stepper est également équipé d'un outil d'éclairage de champ multi-pistes avec des lignes piquées de 7nm pour exposer des motifs monolithiques à des résolutions plus élevées. NSR SF155 est également conçu pour la fiabilité et un faible entretien. Son outil de remplacement rapide de la vanne réduit les temps d'arrêt dus à la maintenance, tandis que son modèle breveté supraconducteur statique Elimination réduit la contamination dans l'étage. Il est également conçu avec protection contre les rayonnements et un équipement d'évacuation des fumées pour assurer un fonctionnement sûr tout en maintenant des conditions de salle blanche. Dans l'ensemble, NIKON NSR SF155 est un pas de production avancé conçu pour fournir des performances optimales dans la production d'appareils de pointe, y compris MEMS, LED et capteurs. Sa combinaison de vitesse, de précision et de faible coût de maintenance en fait un choix idéal pour les lignes de production.