Occasion NIKON NSR TFH EX14C #9276258 à vendre en France

NIKON NSR TFH EX14C, est un marchepied ultraviolet ultraviolet de pointe conçu pour une productivité élevée. Équipé d'une source RI haute puissance (indice de réflexion) (jusqu'à 350W @248nm), NIKON NSR TFHEX14C offre des performances lithographiques exceptionnelles en sophistication et en répétabilité. NSR TFH EX14C est équipé d'un équipement avancé d'alignement automatique à 4 quadrants qui confirme le positionnement X-Y des plaquettes et s'aligne sur le vol pour obtenir un alignement très précis des plaquettes. De plus, les systèmes d'automatisation complète aident à réduire drastiquement les erreurs humaines, permettant à NSR TFHEX14C d'exposer à un rythme rapide. NIKON NSR TFH EX14C est équipé d'un système d'imagerie avancé à son plan focal qui compense l'aberration de la lentille de projection et maintient la précision de l'image diffractée à ± 3µm. Il est capable de 7nm résolution et de 0.1µm précision dans la génération de motifs fins de l'appareil. L'unité source réflexe du RSN de NIKON TFHEX14C améliore l'uniformité d'exposition à l'image en dirigeant la source lumineuse vers la plaquette avec une dispersion de lumière appropriée. La Reflex Source Machine a des caractéristiques supérieures telles que la capacité de réduire la variation du plan à la prise de vue, et aussi réduit considérablement le regroupement de mise en page. Les optiques NA avancées réduisent le temps d'exposition de 2 à 10 fois par rapport aux optiques NA élevées, offrant des temps d'exposition beaucoup plus courts. Il offre des performances d'imagerie supérieures avec une profondeur de champ améliorée de 20 %, ainsi qu'une capacité de focalisation à la source améliorée qui reproduit avec précision les modèles défocalisés. Le PCB avancé (Process Control Board) de NSR TFH EX14C améliore le débit et la généralité de l'outil d'exposition. Il intègre également une interface graphique intuitive et facile à utiliser, avec des fonctions de navigation et de gestion conviviales permettant aux opérateurs de surveiller et de contrôler efficacement plusieurs processus. Enfin, NSR TFHEX14C est équipé d'un actif de source de masse qui offre une excellente capacité de gestion de l'alimentation de la source qui évite tout problème potentiel d'alimentation de la source. Cela se traduit par des performances d'exposition très stables. NIKON NSR TFH EX14C est le pas de plaquette idéal pour la lithographie des plaquettes d'exposition de grand volume. Il a été conçu pour offrir une productivité élevée et des performances lithographiques supérieures tout en réduisant drastiquement les erreurs humaines.