Occasion NIKON NSR #293668735 à vendre en France

NIKON NSR est un pas de plaquette utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil est un pas de projection lithographique développé par NIKON qui peut fabriquer avec précision de petites caractéristiques jusqu'à 35 nm sur des plaquettes minces et même. Il dispose d'un contrôle pas à pas optimisé et fonctionne sur une plate-forme stable. Ce pas offre une excellente superposition de motifs, précision de placement de motifs et répétabilité. NSR dispose d'une optique d'imagerie réfléchissante intégrée et d'une large ouverture numérique, qui fournit des motifs haute résolution avec un excellent débit. Cette caractéristique permet également de détecter les défauts du masque de manière simple et fiable. Le stepper offre des performances élevées, une stabilité à long terme, et une taille de spot réglable, qui répond à la pixelisation des éléments structurants. Afin d'assurer une performance et un rendement constants, NIKON NSR est équipé d'un étage de plaquette auto-calibrant, qui peut mesurer avec précision la distance entre l'illuminateur et la plaquette. Cet équipement dispose également d'un système de commande moteur très efficace pour un positionnement précis de la plaquette dans le processus de fabrication. Le stepper intègre également Servo Correction Unit, qui est capable d'effectuer des corrections rapides lors des opérations de balisage. En outre, NSR dispose également d'une machine de régulation de température haute performance avec un chauffage et un thermostat précis qui peut contrôler précisément la température de la plaquette dans la gamme de 20 à 50 ˚C. Cette fonctionnalité réduit également la mainteance et élimine la dérive thermique dans le processus de balisage. En outre, l'étape utilise les technologies d'outils SynchroScan pour traiter rapidement plusieurs plaquettes dans un court laps de temps. Cet atout fournit également un excellent support d'automatisation en permettant aux utilisateurs de régler les réglages de paramètres à l'avance et de faire des réglages rapides aux tailles des plaquettes. Dans l'ensemble, NIKON NSR est un pas de projection lithographique haute performance qui est capable de fabriquer avec précision et rapidité des micro-structures à motifs avec une excellente répétabilité et un excellent contrôle des processus. Cet outil fournit des solutions rentables et fiables pour la fabrication de pièces et de plaquettes extrêmement petites.