Occasion NIKON NSR #293819945 à vendre en France
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ID: 293819945
Taille de la plaquette: 8"
Stepper, 8"
Missing parts:
WST electromagnetic damper controller
XY power amplifier
Interferometer laser
LLTC electronic cryostat
RT drive unit (RX axis)
RT drive unit (RL axis)
RT drive unit (RR axis)
Chamber blower
WL3PRE2 board
ST power supply
OPD power supply
W/L power supply
R/L power supply
TTLXY board
LC relay board
VAX monitor
R/L MAIN I/F board
MSEC converter.
NIKON NSR est un équipement avancé de pas de plaquettes qui permet une production efficace de circuits intégrés. C'est un système complet de génération de motifs qui combine un réticule, une unité de contrôle de mouvement et une machine optique entièrement contrôlée par ordinateur. Utilisant une optique de projection de 0,25 NA et une caméra CCD, NSR est en mesure d'atteindre un niveau de production de puce pour une vaste gamme de production IC. L'outil utilise un étage réticulaire de type boom avec 6 degrés de liberté et précision de 1,5 μ m. L'étage réticulaire est conçu pour assurer un haut degré de précision et de précision tout au long du processus de production. De plus, son atout de contrôle de position couplé au modèle de contrôle environnemental assure un environnement stable et minimise les niveaux de bruit pendant le cycle de production. L'équipement intègre également la méthode de réglage NIKON (NAD) qui assure le réglage automatique du système optique ainsi que l'équilibre mécanique de la machine. Ceci garantit en outre une plus grande précision de l'imagerie de motifs. NIKON NSR dispose également de NIKON Step-and-Repeat (NSR) Unit qui permet un large éventail de scénarios d'application, tels que l'étape de plusieurs puces sur une plaquette dans un cycle d'imagerie. L'optique de la machine est configurée en deux axes, deux axicons, un correcteur d'aberration et une lentille de sécurité. Cette configuration garantit des performances d'imagerie supérieures avec une large gamme de distances de travail. L'outil est également équipé d'un atout optique à cellule continue qui permet une imagerie à grande vitesse avec une réduction du temps d'exposition et une productivité élevée. NIKON NSR wafer stepper a été conçu pour une intégration optimale des processus. Il est capable de fournir un cycle de production entièrement automatisé qui comprend le contrôle et l'alignement des modèles matériels ainsi que l'accord mécanique et optique. En outre, l'équipement prend également en charge un large éventail d'algorithmes de correction de motifs ainsi que la capacité d'ajuster les paramètres d'exposition pendant le processus de production. Dans l'ensemble, l'étage de wafer NSR est capable de permettre des cycles de production d'IC efficaces avec un degré élevé de précision et de productivité. Ses caractéristiques innovantes en font un choix idéal pour la production au niveau des puces et continuent d'offrir des performances et une qualité supérieures dans l'industrie des semi-conducteurs.
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