Occasion NIKON NSR #293819949 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR
ID: 293819949
Taille de la plaquette: 8"
Stepper, 8".
NIKON NSR est un marchepied de wafer reconnu pour ses performances supérieures en répondant aux exigences d'une grande variété de photomasques et de réticules de production et de réparation. L'unité dispose de lentilles à ouverture numérique élevée (NA) leader de l'industrie qui permettent une résolution améliorée, la sensibilité au contraste, et le débit. En outre, NSR est équipé d'une console simple et conviviale pour un fonctionnement intuitif et offre une large gamme de tailles de champ et de paramètres d'exposition pour compléter pratiquement n'importe quelle application réticulaire. Dans une application typique, NIKON NSR fonctionne à l'aide du processus d'imagerie du réticule de scan en 4 étapes. Cela comprend une station de préparation des réticules, une station d'alignement au microscope optique, une station d'exposition et une station d'inspection après exposition. Le poste de préparation est utilisé pour le nettoyage, le revêtement, l'alignement et l'inspection du réticule. La station d'alignement se compose d'un système d'objectif pour l'image du réticule, ainsi que d'un système d'alignement automatisé pour trouver le meilleur champ d'exposition et les meilleurs endroits. Le poste d'exposition est utilisé pour positionner et exposer avec précision la plaquette sur le réticule, avec un contrôle de focalisation dynamique pour la meilleure uniformité possible. Enfin, un poste d'inspection post-exposition est utilisé pour une inspection rapide sur place de la plaquette exposée afin de confirmer la qualité du procédé. NSR wafer stepper intègre également diverses technologies pour la précision et la répétabilité de l'exposition, telles qu'une configuration optique haute NA unique, des technologies de profondeur de focalisation modulée (MOD) et un enregistrement tridimensionnel (3D) pour une excellente combinaison de précision de surface et de superposition latérale. Les technologies MOD permettent également d'améliorer les capacités de résolution et de rendement. De plus, NIKON NSR dispose de plusieurs options pour le contrôle avancé, y compris le contrôle de la dose d'exposition variable dépendante du processus, ainsi que la reconnaissance automatique de l'ID du substrat. Ces caractéristiques se traduisent par un processus réticulaire de qualité supérieure, offrant aux praticiens une précision et une précision de pointe dans l'industrie. NSR wafer stepper est idéal pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs qui ont besoin d'une résolution améliorée, d'un contraste de motifs amélioré et de motifs plus uniformes sur un champ de vision plus grand. Il en résulte une amélioration des rendements et des performances du dispositif. Tous les composants travaillent ensemble dans un système unifié, offrant d'excellentes performances, rendement et efficacité de production.
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