Occasion NIKON / NTS NSR-2150 #293650967 à vendre en France

NIKON / NTS NSR-2150
Fabricant
NIKON / NTS
Modèle
NSR-2150
ID: 293650967
i-Line stepper.
NIKON/NTS NSR-2150 est un pas de plaquette de haute précision principalement utilisé pour le processus de lithographie dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il fonctionne selon le principe de la double exposition étape-répétition et fournit une résolution jusqu'à 0,3 μ m avec une précision de recouvrement de 1/2 de μ m. La machine est compacte mais polyvalente, et dispose de conceptions de conservation de la puissance comprenant un équipement d'échange de réticules haute vitesse de 0,275 seconde et une commande de chauffage « intelligente » pour le chauffe-scène. NTS NSR-2150 utilise un système optique 6 ″ F2.4 de longue durée et des oculaires jumeaux pour assurer la cohérence. L'unité permet également la focalisation manuelle, et a une résolution de télécentricité de 1er ordre à une longueur d'onde de 436 nm, atteignant des niveaux de 1/2 μ m précision de recouvrement et 0,4 μ m précision de détection de bord. L'étage pas à pas a une course maximale de 300 × 300 mm, et est piloté par un étage mobile à commande numérique avec des codeurs optiques numériques de haute précision et des capteurs de température. Il comprend également l'auto-home, les corrections d'erreurs de scène, et les broches réglables. Les éléments d'axe de l'étage sont placés dans une configuration symétrique pour assurer des mouvements X/Y précis et simultanés. NIKON NSR-2150 est conçu pour gérer l'exposition de motifs complexes avec une variété d'algorithmes, tels que rotation, miroir et balayage asymétrique multiple inverse. De plus, plusieurs fonctions de correction et de compensation des lentilles sont disponibles pour améliorer l'exposition au tir, telles que la correction des fonctions programmables variables et la compensation dynamique des torches. Le stepper dispose également d'une interface utilisateur orientée graphisme, ce qui rend le fonctionnement de la machine plus facile et plus intuitif. NSR-2150 est très fiable, avec une durée de vie de conception de 10 millions de clichés, et est certifié ISO conformément aux normes internationales de performance et de sécurité. De plus, le stepper dispose d'un journal d'événements intégré pour suivre, stocker et examiner les processus passés - en préservant l'intégrité des données et la qualité des produits. En conclusion, NTS-2150 est un pas de plaquette puissant et précis avec les caractéristiques et les capacités nécessaires pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices modernes. Il est rapide, fiable et relativement facile à utiliser, permettant une fabrication plus efficace, économique et de haute précision des circuits intégrés.
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