Occasion NIKON / TEL / TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A #9299967 à vendre en France

NIKON/TEL/TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A est un pas à ultviolets profonds (DUV) utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Sa plate-forme pas à pas de 300mm offre un débit élevé et une excellente uniformité dans les processus de fixation des plaquettes, ainsi qu'une précision et une résolution élevées pour la fabrication de caractéristiques d'avant-garde ultra-fines. La machine est capable de réaliser jusqu'à 24 couches de circuits denses sur une seule plaquette. TEL NSR 1755 G7A est capable de fonctionner à une longueur d'onde de 248nm, et présente une grande taille de champ allant jusqu'à 21 × 24 mm2. L'uniformité sur le terrain dans toute la zone est très impressionnante, atteignant 0,3 % ou mieux au niveau de l'actionneur. Il en résulte une précision de superposition extrêmement élevée tout au long du processus de mise en oeuvre de la machine. Le G7A a une étape et un système de répétition pour la cartographie des couches, ce qui assure l'alignement de précision lors de la mise en place de la matrice sur la plaquette. Il dispose également d'un compensateur de distorsion optique intégré pour minimiser la distorsion des bords pendant l'exposition et d'un moniteur de focalisation local pour l'optimisation continue des performances. Le stepper est équipé de trois systèmes de métrologie, ce qui lui permet de détecter rapidement les valeurs de dimension cruciale (CD) et de compenser les erreurs potentielles. Le G7A est très fiable et ne nécessite pas d'entretien important. Il a un temps moyen entre les pannes (MTBF) de 13 800 heures, contre 10 500 heures pour le modèle précédent, et peut gérer 450 plaquettes en 24 heures. Il fonctionne également en douceur à des températures allant de 10 à 28 degrés Celsius, avec une humidité relative de 60 pour cent ou moins. Combiné à sa grande précision et uniformité, le NIKON NSR 1755 G7A est un choix idéal pour la production d'applications critiques de nouvelle génération. Son débit rapide, sa grande résolution et ses performances fiables en font un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs.