Occasion OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC #9180829 à vendre en France
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OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC est un pas de plaquette très avancé pour les applications de lithographie de haute précision. Il est conçu pour fournir des résultats supérieurs dans une gamme d'applications d'exposition aux UV. Il s'agit d'un pas automatisé basé sur une machine avec un système logique contrôlé par l'utilisateur. NIL-60-SS-UV-VC se compose d'un boîtier principal contenant les composants de la machine et d'une interface tactile intégrée. Il comporte un pas motorisé, un dispositif mécanique de commande de la position relative de deux composants. Il est conçu pour des performances précises et répétables, avec la capacité de contrôler la vitesse, la direction et la quantité d'étapes pour obtenir des résultats optimaux. Le pas peut être adapté à l'application, en déterminant la vitesse, l'accélération, la linéarité, les réactions et la précision requises. La plaquette sur laquelle l'exposition est effectuée est placée sur une plate-forme de table à boucle fermée, assurant un contrôle de position précis et un contrôle de mouvement stable. La plate-forme dispose d'un verrou manuel de plaquette, ainsi que d'un mécanisme de rétroaction de force pour une meilleure précision. La table est également conçue pour le chargement de plaquettes petites et normales. Le laser d'exposition est monté sur OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC, tandis que d'autres sources laser peuvent être ajoutées si nécessaire. NIL-60-SS-UV-VC possède également de multiples fonctions de sécurité, y compris des boutons d'arrêt d'urgence et un verrouillage des portes, un rideau de lumière UV, des blankers laser, un système d'isolation des vibrations, un système de refroidissement de l'eau de recirculation et un ioniseur. Il dispose également d'un régulateur de température à froid, de sources d'éclairage réglables, d'un capteur pour détecter les matières étrangères sur scène et d'une alarme sonore et visuelle. OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC est compatible avec le logiciel OBDUCAT TAIM, permettant le fonctionnement à distance de la machine. Il est capable de se fermer en cas d'alarme ou de tout autre dysfonctionnement. Le logiciel TAIM est également capable de stocker des données, ainsi que la surveillance à distance pour le dépannage, l'enregistrement des données et l'analyse en temps réel. NIL-60-SS-UV-VC peut être utilisé pour effectuer un large éventail d'applications de lithographie, y compris UV, UV profond, DUV, et exposition VUV, ainsi que double exposition et exposition sous-résolution.
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