Occasion PRECISION / GCA 19 #9081984 à vendre en France

PRECISION/GCA 19 est un équipement avancé de lithographie à semi-conducteurs d'automatisation. Cet équipement fait partie d'une ligne de production de circuits intégrés (IC), combinant la photolithographie, l'alignement des masques et la manipulation automatisée des plaquettes dans un même système. Le grand cadre de GCA 19 mesure environ 116 cm de hauteur, 203 cm de largeur et 41 cm de profondeur. Il a 5 axes de mouvement (X, Y et Z-axes, et deux thêta-axes) pour l'étage utilisé pour aligner la plaquette. Les deux thêta-axes donnent à l'unité la capacité de tourner et d'incliner le plan de la plaquette et de le déplacer dans des angles différents pour l'alignement automatique. La machine utilise la lumière réfléchie du masque et dirigée sur la plaquette pour produire l'alignement et la lithographie. Il utilise un outil d'alignement géométrique en trois points et une technique brevetée de « rotation plane » qui permet d'aligner et de positionner avec précision les plaquettes avec deux inclinaisons angulaires et deux axes de rotation latéraux. L'atout géométrique en trois points permet un alignement précis des motifs et une superposition précise des différentes plaquettes. PRECISION 19 utilise également un laser argon/fluorure refroidi intérieurement avec une longueur d'impulsion ultra courte pour l'éclairage, permettant une exposition maximale de la surface de la plaquette sans risque de chauffage ou d'endommagement du matériau. Le modèle laser est également capable d'exposer des plaquettes à différentes plages de longueurs d'onde, ce qui permet une meilleure manipulation de plusieurs matériaux et couches différents. L'équipement a une portée d'alignement haute vitesse intégrée, permettant un système automatisé qui permet des opérations rapides et précises. En outre, l'unité utilise plusieurs capteurs pour surveiller et ajuster le niveau d'exposition du laser, et dispose d'une grande interface tactile pour l'entrée de l'utilisateur. Cela permet aux opérateurs de contrôler les différentes étapes de la production et d'obtenir des résultats fiables. En bref, 19 est une ligne de production fiable et précise de wafer-step machine, utilisant des instruments de lumière et laser pour aligner avec précision et lithographies wafers. Avec des caractéristiques telles que la portée d'alignement intégrée, haute vitesse et son outil de refroidissement interne, PRECISION/GCA 19 est conçu pour une production rapide et précise.