Occasion SCIVAX Flan-200-U100-4 #9205055 à vendre en France

SCIVAX Flan-200-U100-4 est un pas de plaquette automatisé qui fournit l'alignement de précision et l'exposition des plaquettes semi-conductrices pendant le processus de photolithographie. Il peut traiter jusqu'à 4 plaquettes simultanément dans une taille de 200 mm - la plus grande taille de plaquette capable disponible. Il offre à ses utilisateurs un environnement plus convivial avec la disposition des bancs, le chargement manuel des cassettes, un alignement jusqu'à 4 côtés, un programme d'ordonnancement des lots et un mécanisme d'étape de haute précision. Flan-200-U100-4 peut être utilisé pour un large éventail d'applications de photolithographie telles que le dépôt, le cendrage et la gravure sur des plaquettes. Il dispose d'une large fenêtre d'éclairage réglable et peut exposer des plaquettes jusqu'à 2000 mm de taille. De plus, ses sources lumineuses et ses unités de détection sont configurées de manière à assurer une exposition et une orientation cohérentes et précises des plaquettes. Le système d'ordonnancement des lots et le programme de capture d'images simplifient davantage les opérations de l'étape. Le stepper possède plusieurs fonctionnalités qui permettent un traitement répétable des plaquettes, comme un programme d'exposition automatique, l'enregistrement automatique, la reconnaissance automatique et l'alignement séquentiel automatique de l'exposition. Tous ces éléments permettent à l'étape de traiter automatiquement les plaquettes, sans nécessiter de contrôle de l'utilisateur. De plus, toutes les opérations de l'étape sont supportées avec un faible niveau de bruit et l'étape reste froide (33-35 ° C) pendant l'utilisation en raison de son refroidissement liquide efficace et des systèmes d'échappement d'air. Son tableau X/Y est très précis, ce qui permet un alignement de 1um et 0,1 degré, avec une superbe répétabilité dans les axes X et Y et une interface d'apprentissage complète pour une programmation plus facile des programmes de rectification de systèmes de vision intégrés. Il a deux sources de lumière pour fournir l'exposition optimale des gaufrettes, avec une lampe d'arc court au-mercure-xenon avec 1000W ou une lampe de krypton-xenon avec 500W les options pour une large latitude de temps d'exposition. Le stepper comprend également une interface robotisée AMHS (ARC-2) qui est utilisée pour monter automatiquement et avec précision les plaquettes pour le processus d'exposition sans intervention manuelle, et une unité de développement automatisée qui est utilisée pour détecter et détecter les erreurs pour les meilleurs résultats de plaquette. Dans le cadre de ses mesures de sécurité, SCIVAX Flan-200-U100-4 est équipé d'un interrupteur d'arrêt d'urgence qui arrête automatiquement la source lumineuse et les unités de détection lorsqu'elles sont relevées, ainsi que d'un filtre pour bloquer la lumière ultraviolette dangereuse émise pendant le fonctionnement. Le stepper dispose également d'un couvercle de sécurité laser intégré qui avertit l'utilisateur de tout danger perçu, fermant automatiquement la source lumineuse et les unités de détection si nécessaire. Flan-200-U100-4 est un pas de plaquette automatisé de haute précision qui permet l'alignement, l'exposition et l'enregistrement automatisés des plaquettes semi-conductrices. Avec ses multiples fonctions de sécurité, son interface conviviale et sa construction robuste, SCIVAX Flan-200-U100-4 est un excellent choix pour les processus de photolithographie.