Occasion SVGL Micrascan MPT #9246179 à vendre en France
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ID: 9246179
Taille de la plaquette: 8"
Scanner, 8"
DUV, 193 nm
Catadioptric lens (Reflective and refractive optical elements).
SVGL MicroScan MPT est un pas de plaquette entièrement automatisé conçu pour réduire la non-productivité et améliorer le débit de plaquette dès le début du processus. Il offre une capacité de manutention mixte entièrement automatisée, rapide et fiable. Son logiciel permet également un positionnement précis et la focalisation de plaquettes pour l'exécution rapide d'applications de lithographie. Le stepper dispose d'un contrôle de mouvement double axe avec trois axes de coeur pour une précision et des performances supérieures. Sa conception mécanique consiste en un équipement avancé de balayage galvanométrique haute résolution pour une vitesse de balayage réglable et une résolution réglable, permettant un positionnement et un ciblage précis des plaquettes. Son optique comprend une caméra CCD de précision, des lentilles haute résolution et des lentilles lithographiques avancées pour une résolution et une précision supérieures. Le logiciel de contrôle de MicroScan MPT comprend une variété de tests de routine automatisés et de fonctions de rétroaction qui permettent un contrôle continu et précis pour assurer des impressions de la plus haute qualité. Il offre une gamme de fonctions de surveillance de la production qui offrent une sortie détaillée du mouvement d'étape, de l'alignement des plaquettes et des erreurs. Il dispose également d'une gamme de capacités d'enregistrement de données qui permettent aux utilisateurs d'analyser les performances et d'identifier tout problème potentiel. Le stepper supporte une variété de formats de produits, de grand format 200 mm à 300 mm plaquettes, et utilise une bibliothèque étendue de modèles de lithographie. Son dispositif automatisé de diagnostic surveille tous les défauts, s'assurant que les erreurs sont rapidement détectées et corrigées. Le MicroScan MPT est conçu pour un fonctionnement très fiable et des temps de cycle rapides pour améliorer le débit de production. Le stepper comprend un système de sécurité robuste, y compris une fonction d'arrêt d'urgence, pour protéger le personnel et l'équipement en cas d'urgence. L'interface conviviale et la configuration simple du stepper facilitent l'utilisation de l'équipement. Son unité de contrôle avancée permet une configuration robuste et une surveillance en temps réel de tous les paramètres de la machine pendant le traitement. La machine comprend également un tracé in situ pour la traçabilité des plaquettes à chaque étape du processus, l'enregistrement des données et l'archivage historique. Globalement, SVGL MicroScan MPT fournit une solution robuste et fiable pour les processus hétérogènes, permettant des temps de traitement efficaces et des impressions très précises. Le stepper fournit des résultats de haute résolution, reproductibles et des diagnostics complets pour assurer une production de haute qualité et un fonctionnement fiable.
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