Occasion TAMARACK M304 #9398334 à vendre en France
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TAMARACK M304 est un pas optique avancé et fiable conçu spécifiquement pour l'industrie des micropuces. Le stepper utilise un équipement de placement de haute précision qui assure la plus grande précision et la précision répétable pendant le processus d'achèvement de l'appareil. Son système de mouvement multi-caméra à cinq axes permet des débits rapides et facilite la production de produits à haut rendement. M304 dispose d'un étage de plaquette de 200mm qui peut manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces dans la taille. Le stepper comprend également une colonne d'exposition personnalisée pour le contrôle de l'atténuation de la mort sur chaque site de plaquette. Cette colonne d'exposition permet également une exposition à haut débit à haute fidélité qui réduit les risques d'erreurs d'exposition pendant le processus d'exposition. De plus, l'unité intégrée de balayage microlentilles permet de minimiser les aberrations de pixels et assure à chaque filière une exposition précise. Le mécanisme de compensation à haut niveau de flexion de la machine peut corriger les désalignements jusqu'à 1 micron, ce qui contribue à réduire les rebuts des plaquettes. La machine dispose également d'un étage de balayage multi-axes avec une vitesse de balayage de 50 kHz qui facilite le balayage dynamique à grande vitesse sur chaque site de plaquette. De plus, le chemin d'imagerie multi-résolution de l'outil permet l'imagerie ultra-haute résolution et permet l'acquisition d'image en moins de 1 seconde. Ce stepper propose également des algorithmes avancés de reconnaissance des cibles et de développement de focus qui ont été conçus pour aider à réduire le temps d'exposition et les erreurs de focus. De plus, l'actif dispose d'un modèle de contrôle de dose multi-zones qui permet à l'utilisateur d'ajuster les niveaux de dose à chaque site de plaquettes. Le stepper comprend également des fonctions de vide et de charge/déchargement extrêmement précises et répétables qui sont essentielles pour la précision et le débit de placement de l'image. TAMARACK M304 offre une fonctionnalité avancée et une précision extrêmement élevée, ce qui le rend parfait pour une utilisation dans les applications de micropuces. Son équipement de mouvement à cinq axes et sa colonne d'exposition exclusive offrent un débit élevé et d'excellents rendements, tandis que ses fonctions de balayage et de contrôle de dose garantissent une exposition précise. Ses caractéristiques le rendent également facile à utiliser à la fois pour les opérateurs expérimentés et ceux de la technologie pas à pas nouvelle à wafer.
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