Occasion ULTRATECH 1000 #9396748 à vendre en France

ULTRATECH 1000 est un pas de plaquette de haute précision conçu pour fournir des performances et une répétabilité supérieures pour la fabrication de dispositifs de circuits intégrés avancés. Le stepper offre une imagerie lithographique rapide et précise pour permettre un montage et un placement précis pour une production à haut rendement. 1000 intègre des systèmes avancés de reconnaissance de motifs et d'optique, y compris la mise au point automatique numérique, la caméra de capture directe, les étages de portage d'air et la cartographie avancée des substrats et des filières. Son équipement d'imagerie à large champ est vraiment multi-stimulant capable, permettant une multi-exposition efficace via une filière à motifs. La source ultraviolette extrême (EUV) utilise une lampe lumineuse de 300 watts, capable de produire jusqu'à 535 nm de résolution en longueur d'onde. ULTRATECH 1000 dispose d'un impressionnant étage motorisé linéaire qui garantit une vitesse de balayage rapide pouvant atteindre 341 mm/sec. Son optique échangeable à verrouillage rapide offre une capacité d'imagerie supérieure pouvant atteindre 10 um de hauteur. La technologie du système de carte laser offre un enregistrement automatique guidé par vision jusqu'à 0,1 µm pour la précision du placement de la matrice. La source de lumière EUV peut être intégrée avec un mécanisme de manutention cinématique des réticules en option pour assurer un temps de perte minimum lors de l'échange des réticules. L'unité de purge MAGNA-Seal N2 de l'installation assure une protection fiable contre la contamination aérienne. Les fonctions de commande modernes et intégrées du stepper comprennent la détection d'alarme d'outil, le placement automatique des motifs, le calibrage automatique, la machine de gestion de superposition et la géométrie des plaquettes conforme à SEMI. Son outil d'optimisation de purge contrôle le roulement à air afin d'améliorer les performances de l'outil. 1000 offre également des capacités améliorées de manipulation des défauts et un support pour plusieurs capteurs et contrôles indépendants de vide. Grâce à son intégration à haut niveau de technologies de pointe, ULTRATECH 1000 offre une répétabilité supérieure et un rendement amélioré pour les procédés avancés de fabrication de dispositifs IC. Ses performances de processus rapides et son débit de production élevé permettent un prototypage rapide et une production rentable de dispositifs multicouches. Le stepper est équipé de modules logiciels avancés et est compatible avec plusieurs outils de fabrication de lithographie.