Occasion ULTRATECH 1100 #9224143 à vendre en France

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ULTRATECH 1100
Vendu
Fabricant
ULTRATECH
Modèle
1100
ID: 9224143
Steppers.
ULTRATECH 1100 est un pas de plaquette avancé conçu pour être utilisé dans les processus de photo-lithographie. Il dispose de la capacité de traiter une grande variété de plaquettes de 4 « à 8 » de diamètre. Les étages de tête motorisés brevetés permettent un positionnement précis et un alignement répétable de la plaquette pour une superposition précise et une imagerie pas/répétition. L'unité de lancement de plaquettes étanches au vide de 1100 est conçue pour une précision maximale de manipulation des plaquettes et est capable d'effectuer des mouvements microstep et microdynamiques, permettant un positionnement précis. Le stepper est équipé d'une unité d'exposition qui supporte des niveaux d'exposition allant jusqu'à 300 000 lux. Cela permet un large éventail de temps d'exposition et divers niveaux de sensibilité. ULTRATECH 1100 dispose également d'un certain nombre de postes de travail, dont un moniteur d'image latent, un ensemble réticulaire, un obturateur mécanique pour la réduction du halo, un étalonneur de débit d'hélium et une unité de dispersion de gaz pour le contrôle des particules fines. Le système comprend également un étage d'alignement des plaquettes de précision capable d'une précision de positionnement sous microns. Cette fonctionnalité permet un contrôle de la superposition dans les axes x et y pour assurer une superposition cohérente et un suivi approprié. 1100 est capable de jusqu'à 16 000 étapes à l'aide d'un masque 24 ". ULTRATECH 1100 est un pas de plaquette particulièrement flexible et fiable pour les applications de production. Il offre des temps de cycle rapides et une précision même à des niveaux d'exposition élevés. Ses étages de tête motorisés permettent un positionnement précis, et ses systèmes avancés de métrologie et d'inspection garantissent une précision critique. De plus, chaque cycle étape/répétition est surveillé et validé, garantissant des performances cohérentes à chaque utilisation. 1100 fournit des performances fiables, la flexibilité et des temps de cycle rapide pour une gamme d'exigences de production.
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