Occasion ULTRATECH 1100 #9238245 à vendre en France

ULTRATECH 1100 est un équipement de lithographie photo à sec ULTRATECH (DUV) très avancé conçu pour répondre aux exigences des principaux fabricants de semi-conducteurs. Il a une configuration pas à pas et scanner qui produit une précision d'imagerie et de superposition supérieure à différents niveaux de plaquettes. Le système offre une large gamme d'applications, y compris l'emballage avancé à l'échelle des plaquettes (WLCSP), le silicium à travers les technologies TSV et le collage sans plaquettes/bandes ultra-minces. 1100 peut fournir une haute résolution d'imagerie jusqu'à un minimum de 0,25 micron (μ m) Résolution. En outre, il a la plus grande précision de recouvrement disponible sur le marché de 0,3 μ m à 20mm. L'unité optique intégrée est optimisée pour une distance de travail ultra-faible qui minimise les effets des distorsions de bord de tranche sur la précision de l'image. De plus, le stepper intègre les dernières technologies de l'auto-étalonnage par image (IBSC) ainsi que de l'alignement de retenue chromatique (ARC), offrant des performances d'imagerie supérieures, ainsi que la stabilité environnementale et une productivité élevée. ULTRATECH 1100 est capable de modeler des caractéristiques très précises aussi petites que 0,1 μ m x 0,1 μ m sur toute la zone du substrat, éliminant la nécessité d'utiliser des techniques d'exposition multiples telles que les expositions étagées. Parmi les autres caractéristiques de la machine, mentionnons la soustraction de fond avancée, l'outil Accu-Clamp pour une précision de focalisation accrue et l'alignement de déplacement vertical (VDA) avec prise en charge de fréquences d'entrée de données allant jusqu'à 15kHz. 1100 est livré avec une interface graphique conviviale, un éclairage de terrain plat de haute précision, et un équipement de caméra avancé, avec un support pour la capture vidéo numérique CMOS 32 bits et les derniers algorithmes de traitement d'image. Pour une productivité totale du modèle, le stepper est équipé d'une interface E/S à distance et d'une télécommande Ethernet, permettant une transition transparente entre plusieurs systèmes. De plus, l'ULTRATECH 1100 comprend une gamme de caractéristiques à valeur ajoutée pour répondre aux besoins spécifiques des différents processus de production, tels que le changement automatique d'objectif et le mouvement motorisé des plaquettes. Avec sa capacité d'étape complète, 1100 peut offrir à la fois des techniques d'imagerie de haute précision et des applications à haut débit.