Occasion ULTRATECH 1100 #9244754 à vendre en France
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ID: 9244754
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1998
Stepper
With Nitrogen
1998 vintage.
ULTRATECH 1100 est un pas de plaquette de présence haute performance, permettant aux utilisateurs d'aligner et de mesurer automatiquement les substrats d'une manière extrêmement polyvalente et fiable. Cette machine est idéale pour le traitement de substrats minces, tels que les plaquettes semi-conductrices, avec une précision de niveau micron et des débits uniformes. Il est équipé d'un grand étage de 23 pouces permettant un alignement et des mesures rigoureuses. 1100 est livré avec un système d'alignement automatique qui permet le positionnement précis de la ligne de balayage et l'alignement de la surface du substrat avec des masques de plaquette et des couches de dispositif. Cela garantit une productivité et des rendements élevés tout en réduisant les erreurs et les non-conformités. Le stepper est conçu avec un système de cartographie multicouche pour représenter avec précision les bords du substrat et effectuer des réglages complexes pour un alignement optimal, donnant les niveaux de précision les plus élevés. Le traitement avec ULTRATECH 1100 est automatisé, permettant un contrôle numérique complet sur l'alignement, l'exposition et la mesure. Cela améliore les débits sans sacrifier la qualité. Le stepper peut être configuré avec différentes techniques de vide pour permettre une manipulation robuste des substrats. Sa conception robuste assure un processus d'exposition répétable qui minimise la possibilité de variations de qualité entre les substrats. 1100 fournit également un système avancé de reconnaissance des motifs pour faciliter l'inspection et l'analyse détaillées. Ses capacités de cartographie de surface permettent aux opérateurs d'examiner les performances des plaquettes et d'effectuer les ajustements nécessaires. Le stepper est également équipé de jauges de contrainte embarquées pour mesurer avec précision la courbure du substrat en vue de la compensation et de l'optimisation de l'image manuelle/sur place. De plus, ULTRATECH 1100 offre d'excellentes performances et une large compatibilité avec les processus de microfabrication. Il supporte un large éventail de technologies de traitement, y compris l'oxydation, l'implantation, la gravure, le revêtement de spin et les techniques de spin photorésist. Avec son logiciel intuitif, le stepper est facile à utiliser et supporté par des ressources en ligne. 1100 est un pas de plaquette très fiable pour le traitement des semi-conducteurs qui fournit les plus hauts niveaux de précision et de débit.
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