Occasion ULTRATECH 1500 MVS #9256268 à vendre en France

ULTRATECH 1500 MVS est un pas de plaquette, ou une machine de lithographie, conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. La machine utilise un procédé étape-répétition pour exposer des couches d'adhérence finement modulées et des substrats photorésistants avec des caractéristiques de géométrie partielle et des structures allant du sous-micromètre au macroscopique. Le système dispose d'une large gamme de tailles de substrat sélectionnables par l'utilisateur avec la capacité d'autofocus pour assurer la précision. 1500 MVS utilise un système programmable de balayage à double axe pour masquer l'alignement et la précision des mesures sur toute la plage de balayage. Sa technologie de balayage avancée et la stabilité qui en résulte permettent l'exposition de caractéristiques de plus en plus petites sur les puces. Il fournit également une vitesse de balayage vraiment uniforme dans toute la gamme de balayage. Le stepper est équipé d'un étage à tube cathodique capable d'une précision de pas de 20 μ m, d'une plage de mouvement de 100 × 100 mm (ou plus) et de vitesses de balayage allant jusqu'à 500 mm/seconde, permettant un positionnement et un alignement rapides et précis des plaquettes pour la lithographie. La machine dispose en outre d'une capacité de focalisation automatique, ce qui contribue à améliorer encore la précision et la répétabilité de l'alignement. Le système global est construit avec un design modulaire, permettant des configurations personnalisées faciles et une configuration rapide. Son « design maigre » réduit également l'usure inutile des pièces, offrant une machine plus fiable qui effectue moins de cycles d'entretien et améliore la productivité avec un temps d'arrêt réduit. Une caractéristique supplémentaire de l'ULTRATECH 1500 MVS est sa capacité de positionnement automatique réglable en inclinaison, permettant de respecter les différentes surfaces et composants du substrat. L'étage est également conçu pour fonctionner jusqu'à 160 plaquettes par heure avec chargement/déchargement automatisé de cassettes et un lecteur de codes-barres, permettant des performances lithographiques très efficaces et précises. En conclusion, 1500 MVS est un excellent pas de plaquette qui fournit des performances fiables et reproductibles. La machine est extrêmement rapide, facile à mettre en place, et peut gérer tous les types de tailles de substrat avec ses capacités d'inclinaison réglables. C'est la machine idéale pour tout processus de lithographie.