Occasion ULTRATECH 1500 MVS #9267164 à vendre en France

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ULTRATECH 1500 MVS
Vendu
Fabricant
ULTRATECH
Modèle
1500 MVS
ID: 9267164
Stepper With chuck, 6" Wafer handling: Autoloader, 6" (Cassette to cassette) Line resolution: 1.0 µm Depth of focus: Standard 3.0 µm at 1.0 µm lines Maximum square: 18 mm x 18 mm Maximum area: 34.2 mm x 13.6 mm Reticle size: 3" x 5" x 0.090" Alignment: WAS / MVS Computer: HP / HEWLETT-PACKARD 362.
ULTRATECH 1500 MVS (Multi channel Vibrating Sample) est un pas de tranche entièrement automatisé et de haute précision conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et des applications de recherche. Cet équipement est conçu pour mesurer avec précision les caractéristiques microscopiques des plaquettes avec une précision de sous-microns et peut être configuré pour traiter une grande variété de tailles et de formes de substrat. La machine est capable d'analyser les structures cristallines, les concentrations de dopage, la topographie, la composition de surface, les propriétés électriques et d'autres paramètres. Au cœur, le système se compose de trois sous-systèmes - la préparation, la mesure et l'analyse des échantillons. L'unité de préparation des échantillons est l'élément clé de la machine et comprend un outil de gravure humide automatisé et une gamme d'accessoires pour la préparation et la manipulation des substrats. Cet actif peut gérer jusqu'à quatre plaquettes à la fois, et fournit une qualité cohérente avec des résultats reproductibles. Le sous-système de mesure est équipé de deux étages d'entraînement planaires pour assurer une précision et une répétabilité élevées lors du balayage du substrat. Les étapes sont capables de scanner des substrats sur une plus grande surface que ce qui est possible avec le modèle de préparation de l'échantillon, ce qui permet une analyse plus détaillée. La procédure de cartographie est effectuée par un miroir à balayage à un seul axe avec une plage dynamique et une précision élevées. Enfin, le sous-système d'analyse fournit un post-traitement complet des données de mesure pour déterminer les paramètres nécessaires à la fabrication ou à la recherche. Les données peuvent être mises à l'échelle et traitées pour créer des affichages graphiques en temps réel et 3D pour l'évaluation. 1500 MVS est un pas de plaquette très polyvalent et précis, et est facile à utiliser avec ses sous-systèmes automatisés de préparation, de mesure et d'analyse des échantillons. La configuration peut être modifiée pour adapter l'équipement aux besoins d'applications spécifiques, et les affichages de données graphiques sont très informatifs et peuvent être manipulés rapidement et facilement pour produire des mesures précises. Avec sa combinaison de performances et de flexibilité supérieures, l'ULTRATECH 1500 MVS offre un niveau de précision et de facilité d'utilisation inégalé pour les applications semi-conductrices et de recherche.
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