Occasion ULTRATECH 1500 WAS #9293282 à vendre en France
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ID: 9293282
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2007
Stepper, 6"
WAS Alignment can be upgrade to MVS
Wafer autoloader can be upgraded to TAZMO Loader
Reticle: 3x5 converted to 5x5
2007 vintage.
ULTRATECH 1500 WAS est un pas de plaquette avancé conçu pour les processus d'intégration de semi-conducteurs de haute performance. Ce pas de plaquette offre une méthode automatisée pour contrôler avec précision et rapidité plusieurs couches semi-conductrices avec une résolution nanométrique. Sa technologie brevetée utilise la technologie intégrée de balayage direct (DST) pour produire des puces semi-conductrices avec des caractéristiques extrêmement précises et un minimum de déchets spatiaux. 1500 ÉTAIT des traits un équipement modelant automatisé à haute résolution capable de traiter des dessins avec 0,6 terrain de μm et au-delà. Il est équipé d'un système optique haute résolution avec zoom réglable qui permet une auto-focalisation et grossissement jusqu'à vingt fois. Le stepper est capable de balayage à trajectoire constante et d'expositions multiples. Cela garantit que le motif résultant est exactement dupliqué sur les puces avec de petites variations de taille. Il permet également des temps de processus plus rapides, et élimine la nécessité d'ajustements coûteux ou de retools coûteux. ULTRATECH 1500 WAS est très réglable, et son architecture logique haute vitesse est réglable pour des mouvements grossiers et fins. Son architecture d'entrée de données est automatisée, permettant une entrée de données plus rapide et plus précise pour améliorer le débit du processus. Cette étape avancée analyse les données de modèle avec une précision au niveau du nanomètre, ce qui donne des performances de processus supérieures. 1500 WAS dispose également d'une unité de refroidissement avancée qui maintient la température optimale nécessaire pour le traitement des plaquettes. La machine est également équipée d'une plate-forme d'isolation des vibrations qui fournit aux utilisateurs un environnement de processus à faible bruit. Cet outil héberge également des outils de diagnostic avancés pour résoudre les problèmes rencontrés au cours du processus. ULTRATECH 1500 WAS est capable de fonctionner dans toute la gamme des options de processus intégrés, y compris la photolithographie, la gravure dure et l'inspection des plaquettes. Il est également capable d'intégrer d'autres technologies de procédé, telles que le soudage de fils de saut et une variété d'équipements lithographiques avant. Ces options de processus intégrées, ainsi que ses fonctionnalités avancées, font de 1500 WAS une solution idéale pour les processus d'intégration de semi-conducteurs haut de gamme.
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