Occasion ULTRATECH 1500 #9019176 à vendre en France

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Fabricant
ULTRATECH
Modèle
1500
ID: 9019176
Taille de la plaquette: 5"
Stepper, 5".
ULTRATECH 1500 est un type de pas de plaquettes utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, tels que des puces informatiques. C'est un équipement dédié conçu pour la lithographie en une étape dans la gamme sub-micron. 1500 wafer stepper utilise la lumière UV focalisée et de haute énergie, qui est produite par un système d'arc laser spécialisé. Cette lumière UV est utilisée pour exposer une couche de résine photosensible qui a été projetée sur la surface de la plaquette. La plaquette peut alors être immergée dans un révélateur chimique pour révéler sélectivement des microstructures formées dans la couche de résine photosensible. ULTRATECH 1500 wafer stepper comprend alignements, balisage, surveillance de superposition, alignement de focalisation et contrôle des particules. Il comporte également un étage supérieur comprenant un rotateur de tête laser et un mécanisme de centrage. Le rotateur permet au laser de se déplacer en x, y et z axes pour une meilleure résolution et précision de placement dans les caractéristiques de la microstructure finale. Le mécanisme de centrage assure un alignement exact du laser avec la plaquette. L'unité comprend également une source lumineuse, qui peut être une lampe, ou un laser, selon les besoins du projet. La source est couplée à une machine à réseau de collectivité, qui permet de diviser la lumière en deux faisceaux, qui convergent alors dans la zone d'exposition de l'étage. Ceci maintient une grande précision de placement des caractéristiques sur le substrat. Un outil d'imagerie avancé est également inclus dans le stepper. Cela comprend une caméra CCD qui prend des images de chaque microstructure avant, pendant et après l'exposition. Ces images peuvent ensuite être comparées à une trame d'étalonnage pour garantir la précision et la qualité ; et peut être utilisé pour mesurer la taille et la forme de chaque caractéristique. D'autres caractéristiques de 1500 wafer stepper comprennent un actif de contrôle des particules qui élimine les contaminants de l'air, éliminant ainsi la contamination de la photorésist et des caractéristiques. Grâce à l'utilisation d'un OLP (Optical Low Pass Filter), le stepper est également capable de compenser les distorsions causées par une réduction de l'intensité énergétique qui pourrait conduire à des artefacts d'exposition indésirables. Enfin, le stepper comprend également un modèle de manutention des plaquettes de haute précision, qui permet un positionnement rapide et précis de la plaquette sur le motif. Toutes ces fonctionnalités font de l'ULTRATECH 1500 un excellent choix pour la production de micropuces.
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