Occasion ULTRATECH 1500 #9019700 à vendre en France

ULTRATECH 1500 est un pas de plaquette conçu pour aider à répondre aux exigences exigeantes de placement des dispositifs de fabrication de semi-conducteurs. Le stepper utilise des outils avancés de lithographie de faisceau d'électrons (e-faisceau) pour fournir une grande précision d'alignement et répétabilité avec des débits rapides. L'équipement dispose d'un étage moteur linéaire haute accélération, permettant un temps de balayage court tout en conservant une haute résolution et une précision répétable. 1500 utilise aussi le système d'alignement Saber™ de propriétaire ULTRATECH pour garantir l'alignement x-y précis en satisfaisant des besoins de débit stimulants. ULTRATECH 1500 dispose d'une colonne e-beam M4K avec une résolution de 1-2 nm et une taille de champ de 450 mm x 450 mm. Cette seule colonne e-faisceau est capable de générer de façon constante des structures lithographiques de 40 nm et plus. Pour augmenter encore le débit et réduire le temps de traitement, le stepper propose également une unité d'auto-calibrage. Cette machine calibrera automatiquement la colonne de rayon électronique M4K et exécutera une opération « de réglage » après que chaque travail avant le suivant aura exposé. 1500 utilise un outil entièrement intégré de manipulation des plaquettes en boucle fermée qui intègre l'alignement sans sensation, l'alignement virtuel et la mesure de focalisation pour obtenir une précision et un débit de placement élevés. En utilisant des outils d'alignement embarqués propriétaires, le stepper peut auto-aligner la plaquette à une référence connue, éliminant les processus d'alignement manuel qui peuvent réduire le débit. L'actif en boucle fermée facilite également la correction de focalisation en ligne, l'alignement automatisé des plaquettes et les changements de masque à faible coût. ULTRATECH 1500 est hautement configurable et offre plusieurs options pour personnaliser ses performances afin de répondre à des besoins de production uniques. Les options proposées comprennent une double colonne e-beam, une option de champ ultra-large, et SubSaber™ le sous-échantillonnage et l'alignement. Une plate-forme de performance améliorée (PPE) est également disponible, permettant aux utilisateurs de réduire les temps de numérisation et d'augmenter la résolution et la précision. En plus de ses caractéristiques, 1500 est également très fiable et robuste, fournissant des résultats de qualité de débit robuste. L'étalonnage automatisé du modèle garantit des performances répétables, et la fonction de sécurité proactive de la plateforme aide à protéger les données sensibles. Le stepper peut également être complété par un arsenal ULTRATECH d'options logicielles et matérielles, permettant à l'équipement d'être adapté à un large éventail de besoins d'application. ULTRATECH 1500 est un pas polyvalent qui peut aider les fabricants de semi-conducteurs à atteindre des exigences précises de placement de l'appareil plus rapidement et de façon plus fiable que jamais. Le stade automobile linéaire de la haute accélération du système améliore des taux de débit et d'exactitude de placement, pendant que son unité d'alignement Saber™ de propriétaire et traits d'alignement et de sous-échantillonnage de SubSaber™ aident à réduire des processus manuels. La machine dispose également d'une gamme d'options d'amélioration des performances, le rendant extrêmement personnalisable. Enfin, les capacités d'étalonnage automatisé, d'auto-alignement et de correction de focalisation en ligne du stepper donnent aux fabricants la tranquillité d'esprit que leurs appareils seront placés avec précision à chaque fois.