Occasion ULTRATECH 2244i Series #293628682 à vendre en France
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ID: 293628682
Taille de la plaquette: 4"-8"
Stepper, 4"-8"
G&H Line optics
Lamp, 1000 W
Extended focus option for thick resist exposure capability
GENMARK Robot
Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6")
Reticle barcode reader
COGNEX Machine Vision System (MVS)
Maximum FOV: 44 mm x 26.7 mm
Numerical aperture: 0.32
Auto aperture.
La série ULTRATECH 2244i est un pas de tranche ultramoderne conçu pour les procédés photolithographiques les plus avancés. Il dispose d'un étage de wafer haute fiabilité, pleine taille pour gérer une taille de wafer maximum de 200 mm. Le système offre une excellente précision et répétabilité grâce à sa conception avancée de scanner à un axe. Utilisant une optique de projection de 0,74 NA, le scanner à deux étages fournit à la fois une haute résolution et un balayage à grande vitesse, avec des précisions de positionnement du faisceau jusqu'à 1 nanomètre. ULTRATECH 2244i est également capable de scanner différentes tailles de champ d'exposition et de temps d'exposition, ce qui le rend adapté à une variété de processus de photolithographie. ULTRATECH 2244i utilise également son optique avancée pour fournir divers modes de balayage, y compris le balayage étape-répétition, en ligne continue et dans la zone. Il automatise également l'alignement des lentilles, l'exposition et les paramètres de zoom afin d'assurer des résultats cohérents et reproductibles. Le système dispose d'un panneau de contrôle convivial avec une interface tactile couleur de 10 pouces qui affiche une interface utilisateur graphique intuitive. Cela permet de configurer rapidement de nombreux paramètres de numérisation et d'exposition, de traiter les lots et d'archiver les paramètres d'exposition. L'utilisateur peut également créer des recettes d'exposition et les stocker dans la bibliothèque du scanner. ULTRATECH 2244i offre également de nombreux outils de support de processus, y compris de multiples modes de traitement du dos, de reconnaissance automatique des foyers et de contrôle de la précision d'alignement. Il est entièrement compatible avec le logiciel de contrôle de processus ULTRATECH, fournissant des capacités supplémentaires de contrôle de processus et de simulation. De plus, ULTRATECH 2244i dispose d'un module robot de montage avancé, qui permet une manipulation rapide et efficace des plaquettes. Il dispose également d'une chambre propre en option pour un système efficace de protection des contaminants. Au total, ULTRATECH 2244i fournit aux utilisateurs un outil puissant et précis pour la photolithographie.
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