Occasion ULTRATECH 2244i #9182056 à vendre en France

ULTRATECH 2244i
Fabricant
ULTRATECH
Modèle
2244i
ID: 9182056
Stepper Currently de-installed and stored in cleanroom.
ULTRATECH 2244i Wafer Stepper est un outil de lithographie de précision offrant des niveaux de précision inégalés pour les plaquettes d'imagerie. Cet équipement polyvalent dispose d'un microscope pas-à-pas avec un laser excimère pour l'alignement masque-wafer et un pas de précision pour l'imagerie haute résolution. Utilisant un système optique Zeiss, une conception litho-optique avancée et des composants spécialement conçus, 2244i est capable de produire les motifs les plus complexes avec des résolutions d'image aussi faibles que 20 nm. L'unité est conforme à toutes les normes de l'industrie et offre un fonctionnement fiable pour la production 24/7 des applications de wafer. ULTRATECH 2244i est configuré avec un étage de masque motorisé à entraînement direct pour un alignement et un recouvrement précis et reproductible des motifs, et une unité de mouvement précise pour les étages de plaquettes qui assurent un haut niveau d'automatisation et de répétabilité. Utilisant une table motorisée à entraînement direct avec deux paires d'actionneurs linéaires opposés, la plate-forme est capable d'obtenir un mouvement superbement précis avec un fonctionnement « à ressort » et une précision et une reproductibilité rapides. En outre, un scanner d'alignement « tête-bêche » est inclus pour assurer un alignement et un enregistrement appropriés des images. 2244i utilise des composants optiques haut de gamme, y compris des optiques d'imagerie optimisées, des réflecteurs, des ouvertures et des condenseurs, pour assurer de superbes performances et précision. La machine est conçue pour être extrêmement accommodante avec sa focale de 160mm et sa distance de travail de 254mm, permettant une compatibilité avec une large gamme de dimensions et de géométries de plaquettes. L'outil optique est équipé d'un chemin optique stabilisé intégré pour assurer une influence minimale des fluctuations environnementales. Un atout d'alignement laser intégré est inclus pour l'alignement précis et le recouvrement de motifs sur la rétine de la plaquette avec des ouvertures de balayage aussi petites que 2 microns. L'équipement de contrôle numérique convivial basé sur PC du modèle permet un réglage précis de tous les paramètres d'imagerie, y compris le temps d'exposition, la puissance laser et la vitesse d'obturation. Ceci assure une excellente fidélité et répétabilité de l'image sur l'ensemble du substrat. Dans l'ensemble, l'ULTRATECH 2244i Wafer Stepper est un outil de lithographie avancé conçu pour réaliser une gamme d'applications avec précision et répétabilité. Sa configuration polyvalente est idéale pour créer des motifs complexes sur des substrats, offrant une excellente précision et une résolution d'image.
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