Occasion ULTRATECH 2244i #9397143 à vendre en France

ULTRATECH 2244i
Fabricant
ULTRATECH
Modèle
2244i
ID: 9397143
Stepper.
ULTRATECH 2244i Wafer Stepper est un équipement automatisé de traitement des plaquettes conçu pour le traitement des plaquettes simples jusqu'à 6 pouces. Le stepper utilise la technologie du moteur pas à pas, permettant des temps d'exposition très précis et reproductibles. Le système pas à pas intègre également des tailles de fonctionnalités jusqu'à 5 microns avec une résolution de l'ordre de 0,1 microns. Les principaux composants de l'unité sont : le moteur pas à pas, les codeurs d'images, le gestionnaire de plaquettes, le focusser, le collimateur et l'obturateur. Le moteur pas à pas se compose d'une machine de commande en boucle fermée, de moteurs et de moteurs, et de codeurs pour positionner avec précision les étages pendant les temps d'exposition. Les codeurs enregistrent la position de l'image, ce qui permet des temps d'exposition très précis et reproductibles, tandis que le gestionnaire de plaquettes peut contenir jusqu'à 200mm de plaquettes. Le focusser utilise un mécanisme à deux axes assurant une focalisation uniforme sur l'ensemble du champ d'exposition. Le collimateur est refroidi sous vide et conçu pour minimiser l'exposition indésirable des bords de motifs et aussi augmenter la résolution des expositions de motifs. L'obturateur est actionné électroniquement et est conçu pour assurer des images crues et minimiser les artefacts de recouvrement d'image. 2244i permet de réaliser des circuits haut de gamme et très précis pour les applications les plus exigeantes. Ce stepper est compatible avec des procédés standards tels que la lithographie par faisceau d'électrons (EBL), l'ultraviolet profond (DUV), l'ultraviolet (UV) et l'E-Beam Writer (EBW). Des méthodes manuelles et automatiques de traitement des données sont disponibles, ainsi que des logiciels qui permettent un contrôle serré de la configuration des paliers. Les dispositifs de sécurité sont intégrés pour protéger à la fois l'opérateur et le marchepied, tels que des dispositifs de verrouillage de sécurité, un arrêt d'urgence, une alarme sonore et un minuteur externe. L'outil est également conçu avec le bruit de puissance et la protection contre les interférences, la protection de court-circuit, ainsi que le contrôle de la température. ULTRATECH 2244i Wafer Stepper est un processeur monobloc bien conçu et performant conçu pour des applications exigeantes. L'actif a une haute résolution et des temps d'exposition précis, en raison de ses étages et encodeurs pas à pas sophistiqués motorisés. Il est également conçu avec des caractéristiques de sécurité telles que l'arrêt d'urgence et l'alarme, fournissant une solution sûre et fiable pour le traitement des plaquettes. La haute performance et la fiabilité du modèle en font une solution idéale pour les applications les plus exigeantes.
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