Occasion ULTRATECH 900 #131416 à vendre en France

ULTRATECH 900 est un équipement complet, modulaire et multi-champs de métrologie des dimensions critiques développé comme un pas de plaquette pour gérer un large éventail d'applications de métrologie. Le système est ciblé sur le grand marché des paliers, fournissant des mesures de dimensions critiques (CD) de caractéristiques définies par photo sur des couches superficielles de substrats semi-conducteurs. 900 est capable d'applications analytiques et non analytiques pas à pas. Il dispose d'une unité de mesure de mouvement unique et haute résolution qui peut mesurer rapidement et avec précision les caractéristiques fines. Il a une configuration à trois axes, constituée d'un étage de rotation de précision, d'un étage de mouvement peu profond et d'un étage de placement d'échantillons, chacun pouvant être entraîné selon deux axes (x, y). L'étape de placement de l'échantillon permet une course horizontale et verticale à travers la surface de l'échantillon, ce qui permet d'aligner le modèle d'essai pour une mesure optimale avec une distorsion minimale. Le stepper est conçu pour supporter des tâches de métrologie rigoureuses avec des niveaux élevés de répétabilité et de précision. Il est capable de mesurer le profil de surface à l'échelle du nanomètre et peut détecter même les plus petites tailles de caractéristiques. Les modes de balayage rapide et de balayage d'échantillons rendent la machine idéale pour des applications telles que la mesure de CD, l'imagerie sans contact, la cartographie des plaquettes et l'inspection des défauts. L'ULTRATECH 900 est également équipé d'un outil optique avancé. Il dispose de deux systèmes d'imagerie haute résolution et d'une technique brevetée de coiffure de faisceau qui permet de mesurer les caractéristiques de haut rapport d'aspect sur le même substrat. La grande sensibilité de l'actif permet de détecter des types de défauts de très petite taille. D'autres caractéristiques comprennent une fonction de tracé de la carte de la plaquette à grande vitesse qui peut rapidement créer une carte de superposition/modèle de la plaquette entière ainsi qu'un modèle d'inspection des particules pour détecter et identifier les défauts. 900 utilise également une technologie de pointe pour la numérisation, l'imagerie et l'analyse des mesures de CD. Le logiciel de pointe de l'équipement permet l'analyse multicouche, la génération de profils CD pour la correction de superposition/étage, le traitement parallèle pour un débit plus rapide et un système intégré de gestion des données. Il dispose également d'un module d'enregistrement permettant d'utiliser tous les motifs de test pour la mesure de CD sur le même substrat. En conclusion, ULTRATECH 900 est un pas de plaquette avancé et complet qui fournit un ensemble complet de fonctionnalités et de capacités pour la métrologie de dimension critique (CD). Il est capable d'applications à la fois analytiques et non analytiques et fournit un niveau élevé de précision et de répétabilité dans les mesures. L'unité intègre également des systèmes optiques avancés et des logiciels pour le balayage de précision, l'imagerie et la mesure.