Occasion ULTRATECH AP 300 #9236556 à vendre en France
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Vendu
ID: 9236556
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Stepper, 12"
Operating system: Windows
Intensity: 2500 (mw/cm²)
Wave length: D, H, I Line
DOF: 5 um
Resolution: 200 nm
Field size: 44 x 26 mm
Lamp uniformity: 3.07%
Type: SMIF
Automation line component: GEM
Reticle size, 6"
Wafer of type
Illumination: Standard
Main shutter: Standard
Booth unit
Reticle changer
Reticle cassette
No reticle cassette bar-code
Reticle bar-code reader
TAG Reader
No pellice particle check
Intensity meter holder / Display
High precision N rotation PA parts
CDA Filter: Organ In-organ
Signal tower
No double cassette elevator
No HeNe unit modification unit
Remote E-console: Single
Recipe server
Stage:
Scan speed: 250 mm/sec
Chuck: Ring chuck
Electric power: 208 V / 60 Hz
2008 vintage.
ULTRATECH AP 300 est un pas de tranche qui fournit le plus haut niveau de performance et de précision disponible pour automatiser les processus dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est un équipement d'automatisation multi-axes avec une manipulation sophistiquée des plaquettes, une métrologie très précise et une optique avancée. ULTRATECH AP300 tire son nom de sa technologie de précision avancée - « Advanced Precision » ou « AP ». L'AP 300 utilise un système de positionnement multi-axes sophistiqué avec une précision inférieure à 1000 nanomètres, garantissant qu'il est en mesure de traiter avec précision les dispositifs différemment lorsque cela est nécessaire. Avec sa précision impressionnante, il peut efficacement profiler des textures de bord sur un appareil donné, de manière à atteindre le produit final désiré. AP300 dispose également d'une optique avancée qui peut atteindre des résolutions allant jusqu'à 10 microns et des longueurs d'onde de crête aussi courtes que le spectre visible. Grâce à son optique avancée, l'ULTRATECH AP 300 est capable de mesurer les défauts avec une précision sans précédent. De la mesure du diamètre critique et de la profondeur des réseaux de diffraction à la haute précision des cibles inclinées, ULTRATECH AP300 permet une inspection supérieure des surfaces des appareils. En outre, l'AP 300 dispose d'une unité de manutention de plaquettes sophistiquée qui permet un traitement rapide. Axée sur la complexité de l'appareil et les conditions d'entrée/sortie, la machine de manutention des plaquettes de AP300 optimise le débit pour les plaquettes de toutes tailles. Dans l'ensemble, l'ULTRATECH AP 300 est un pas de plaquette multi-axes sophistiqué qui offre le plus haut niveau de performance et de précision disponible pour automatiser les processus de fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'une optique avancée avec des résolutions jusqu'à 10 microns, et un outil de positionnement multi-axes très précis avec < 1000 nanomètres de précision. ULTRATECH AP300 offre également un outil de manutention de plaquettes sophistiqué qui permet un débit efficace. Hautement fiable et économique, l'AP 300 fournit une solution d'automatisation puissante pour l'amélioration de la qualité, l'optimisation du débit et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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