Occasion ULTRATECH AP200 #293630413 à vendre en France
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ID: 293630413
Style Vintage: 2006
i-Line stepper
Dual illuminator
CLC Controller
Field size: 44 x 26.7
2006 vintage.
ULTRATECH AP200 est un pas de plaquette multidimensionnel de haute précision conçu pour une lithographie précise dans la fabrication de circuits intégrés. Cette machine innovante est capable de placer avec précision des motifs sur des plaquettes avec une résolution de 400 nm, en utilisant une technique d'imagerie directe avec une répétabilité précise. L'ULTRATECH AP 200 est équipé d'un étage bidimensionnel, qui peut être déplacé dans les axes X, Y et Z. Cet étage est actionné par trois moteurs d'entraînement direct, précis et silencieux, assurant un positionnement efficace de la plaquette. Le stepper dispose également d'un contrôleur de processus à double niveau, de plusieurs zones pleine trame, et d'un réseau de portes programmables sur le terrain (FPGA). Tous ces composants travaillent ensemble pour fournir l'alignement de haute précision, la superposition de précision et les performances de répétabilité nécessaires à une lithographie réussie. En plus d'un contrôle précis du mouvement, AP200 est également équipé de capacités d'imagerie avancées. Il dispose d'une caméra CCD (appareil à transfert de charge) et d'un réseau de diodes électroluminescentes (LED) qui fournissent une imagerie précise à différentes petites tailles de champ. Les LED peuvent être allumées et éteintes afin de passer entre différentes tailles de champ d'exposition, tandis que la caméra est utilisée pour surveiller toute la zone afin de s'assurer qu'aucune erreur n'est commise. Afin d'assurer la plus grande précision lors des opérations de lithographie, l'AP 200 est également équipé d'une multitude de fonctions avancées de métrologie et de manutention des plaquettes. Cela inclut les capacités d'auto-focus et d'auto-alignement pour s'assurer que les modèles sont exactement alignés sur la plaquette. Il dispose également d'un mécanisme de manutention des plaquettes qui lui permet de placer et d'enlever avec précision les plaquettes sans risque d'endommagement ou de contamination. En résumé, ULTRATECH AP200 est un pas de plaquette multidimensionnel de haute précision conçu pour une lithographie précise dans la fabrication de circuits intégrés. Il dispose d'une répétabilité précise, d'un étage bidimensionnel, de capacités d'imagerie avancées, d'une caméra CCD de transfert interligne pleine trame, d'un réseau de lumières LED, de capacités d'auto-focus et d'auto-alignement, ainsi que d'un mécanisme de manutention sûr et efficace des plaquettes. Toutes ces fonctionnalités en font une solution idéale pour tout besoin de lithographie.
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