Occasion ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228468 à vendre en France
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ULTRATECH Mercury XLS 200 Wafer Stepper est un outil de lithographie haute performance qui permet aux fabricants de créer des modèles de puces de haute précision pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Le XLS 200 intègre des fonctionnalités avancées qui lui permettent de fournir une précision d'impression supérieure et un débit élevé. L'équipement est construit sur la technologie d'imagerie ULTRATECH avancée, y compris sa plate-forme d'imagerie multi-niveaux FiestoLVDS et l'obturateur électronique Beamblanker. Ces technologies permettent une imagerie précise et une meilleure stabilité d'exposition au faisceau. Le système dispose également d'une optique d'imagerie thermiquement stable pour une performance optimale et une précision de positionnement. Cette technologie de pointe permet au XLS 200 de produire des images avec une haute résolution, des largeurs de ligne faibles et une précision de recouvrement élevée. Le XLS 200 utilise une architecture à double faisceau avec des colonnes séparées et contrôlées indépendamment pour l'exposition. Cette conception modulaire permet d'augmenter le débit et d'améliorer les performances. De plus, la plate-forme comprend un étage de 5 axes pour un alignement précis des masques et des plaquettes pendant le processus d'exposition. Le XLS 200 dispose également d'une architecture flexible et extensible permettant d'intégrer des processus et des options avancés. Cela inclut des fonctions de lithographie facultatives telles que SmartSource, Focal-Depth, Multi-Level, Multi-balising, Polarity et Low Dynamics. Cela permet à l'utilisateur de personnaliser ses processus et d'obtenir des rendements plus élevés avec moins d'itérations. Le XLS 200 est conçu pour réduire les coûts de développement en simplifiant le processus d'étalonnage des unités. Il comprend des systèmes de hauteur laser et de focalisation rapides qui permettent de gagner du temps et de réduire l'intervention de l'opérateur. De plus, la machine comprend une planche d'étalonnage amovible pour l'étalonnage automatisé. Incorporant des technologies de pointe, le Mercury XLS 200 Wafer Stepper est une solution idéale pour les applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Il offre des performances supérieures, une production de rendement améliorée et des économies de coûts grâce à un étalonnage simplifié et un débit amélioré.
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