Occasion ULTRATECH Saturn AP 300 #9163161 à vendre en France

ULTRATECH Saturn AP 300 wafer stepper est conçu pour les applications avancées de photolithographie dans l'industrie des semi-conducteurs et est particulièrement bien adapté pour les applications à haut volume et le traitement rapide des dispositifs. L'AP 300 est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre, et est équipé d'un équipement breveté d'imagerie à reflux qui produit des niveaux élevés d'uniformité dans tous les paramètres de processus, quelle que soit la taille du substrat. Le système peut atteindre des résolutions jusqu'à 0,25 micron, permettant des motifs en ligne fine pour des formations de dispositifs avancées. L'AP 300 est construit avec un étage de balayage en forme de S double passe et deux axes de balayage perpendiculaires l'un à l'autre pour une couverture complète de la plaquette. Cela permet des motifs précisément alignés avec une excellente répétabilité et une faible distorsion. L'unité dispose également d'un obturateur hybride programmable qui peut balayer différentes zones de la plaquette simultanément avec des temps d'exposition variables, des plans de pile, ou exclure des emplacements indépendants dans le champ de vision. Cette caractéristique augmente le débit et rend l'AP 300 bien adapté à l'alignement des photomasques. En plus de ses capacités d'imagerie de précision, l'AP 300 dispose également d'une machine d'alignement optique automatisée. Des détecteurs numériques très sensibles sont utilisés pour déterminer et ajuster rapidement l'emplacement et la position des photomasques à une précision de 9um. Cette fonctionnalité réduit le temps d'installation et optimise les résultats d'impression. L'AP 300 dispose également d'un haut degré d'automatisation, y compris une protection contre les pannes de courant, une protection contre les plaquettes, une table d'identification du masque, une surveillance automatisée du débit d'eau et un chargeur robotique avec des capacités de manutention des cassettes. L'outil est également livré avec un ordinateur avec une interface utilisateur graphique conviviale pour les modifications d'image, les recettes de processus, le suivi des plaquettes et l'information imprimée des plaquettes. Comme couche finale de protection, le produit est équipé d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité en cas de défaillance qui assurent une fermeture instantanée en cas de défaillance catastrophique de l'actif. Saturn AP 300 wafer stepper est un outil avancé et fiable pour le travail à haut volume. Grâce à sa résolution exceptionnelle, à ses fonctionnalités automatisées et à ses capacités de balayage précises, l'AP 300 offre une solution à guichet unique pour la fabrication des appareils. Avec sa gamme complète de fonctions, l'AP 300 est un excellent choix pour le traitement de la photolithographie haute performance.