Occasion ULTRATECH Saturn III 6700 #293651574 à vendre en France
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ULTRATECH Saturn III 6700 wafer stepper est une machine de lithographie optique de précision utilisée pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un pas avancé de 9 "d'alignement automatique, avec une architecture en réseau et un système de manutention inertielle multi-axes. Ceci permet un placement précis, précis et répétable des photomasques pour la production à grande vitesse de microélectronique avancée. La série 6700 offre un débit exceptionnel, avec des temps d'exposition qui offrent un rendement haut de gamme constant de 0,25 microns. La commande de mouvement de précision intégrée permet un positionnement et un balayage rapides, fiables et précis d'un maximum de 8 matrices simultanément. L'interface de l'opérateur dispose d'un écran tactile LCD moniteur et le diagnostic complet de l'utilisateur. La série 6700 est compatible avec une large gamme de photorésistants, tels que SOL-Gel, ALD, et HRG (verre haute résolution). La zone d'exposition de 6 "peut traiter des tailles d'appareil allant de 6" à 12 ", ce qui signifie qu'un seul ensemble de masques peut couvrir plusieurs tailles d'appareil. Le système d'exposition à haute tolérance assure une exposition uniforme sur une grande surface avec une source lumineuse jusqu'à 3 mW/cm2 et une exposition à la dose de 45-200 mJ/cm2. L'entrée polyvalente de données provenant de diverses sources, y compris les bitmaps haute résolution, les graphiques vectoriels, les images et les données textuelles, est facilement gérée avec 4 Mo de mémoire embarquée et une interface d'entrée/sortie de données en vrac. Équipé d'un palier à air industriel durci, le Saturn III 6700 assure un fonctionnement rapide et répétable des étages multi-axes. Le miroir d'entraînement différentiel intégré qui empêche la distorsion harmonique permet d'assurer un fonctionnement fiable pendant l'exposition. En outre, la série 6700 est livrée avec de puissants algorithmes de contrôle d'exposition et de focalisation, compatibles avec tous les outils de lithographie haut de gamme ULTRATECH. Le moniteur d'exposition intégré garantit que les conditions d'exposition sont uniformes et répétables, tandis qu'un moniteur de focalisation permet aux utilisateurs d'effectuer des contrôles de focalisation au niveau des plaquettes. L'ULTRATECH Saturn III 6700 est idéal pour produire une répétabilité lithographique haut de gamme, une précision, une vitesse et une résolution à grande échelle. Sa combinaison de rapport coût-efficacité et de caractéristiques robustes en fait le choix idéal pour réaliser divers projets avancés de microélectronique.
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