Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293628684 à vendre en France
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ID: 293628684
Taille de la plaquette: 4"-8"
Style Vintage: 1998
Stepper, 4"-8"
G&H i-Line optics
Lamp, 1000 W
Extended Focus option for thick resist exposure capability
GENMARK robot
Servo pre-aligner
Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6")
Reticle barcode reader
Wafer Edge Exclusion (WE)
Auto aperture
COGNEX Machine Vision System (MVS)
Max FOV of 44mm x 26.7mm
Numerical aperture: 0.16
Lower pelicle protection
Pneumatic-lock movable handler
1998 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 wafer stepper est un outil haute précision et haute performance conçu pour des applications avancées de lithographie optique. Il combine des performances optiques supérieures, une grande taille de champ de 6,5 pouces et une conception optique avancée. Saturn Spectrum 3 est un système multi-utilisateurs avec une surface d'exposition maximale de 6,5 pouces, offrant un débit élevé et un faible coût de possession. La conception optique avancée de l'ULTRATECH Saturn Spectrum 3 utilise un système d'imagerie à 4 miroirs, offrant une qualité d'image supérieure avec un rapport d'aspect élevé et une distorsion d'image faible. Il dispose également d'une grande taille de champ de 6,5 pouces, permettant d'augmenter les rendements de couverture des appareils pour les conceptions complexes d'appareils. Il offre une profondeur de focalisation supérieure et une NA faible, ce qui le rend idéal pour les applications critiques à faible k1. En plus de son optique avancée, Saturn Spectrum 3 dispose également d'un lecteur Imation haute vitesse et d'un port de chargement. Cela permet une manipulation rapide et efficace des plaquettes, pour améliorer le débit et la productivité. ULTRATECH Saturn Spectrum 3 dispose également d'une large gamme d'options intégrées de manipulation des plaquettes, y compris l'auto-alignement, un système d'alignement basé sur la vision et un interféromètre laser intégré. Ceci permet une précision et un débit d'alignement supérieurs, ce qui le rend idéal pour les séries de production à haut volume. Saturn Spectrum 3 peut fonctionner en mode simple et multi-utilisateur. Il peut facilement se connecter à d'autres outils via les protocoles de réseautage standard, permettant un accès à distance, et est entièrement compatible avec les ordinateurs basés sur Windows. Son interface intuitive pilotée par le menu le rend facile à utiliser, et il existe plusieurs options logicielles supplémentaires pour le personnaliser et l'optimiser pour des opérations spécifiques. Dans l'ensemble, ULTRATECH Saturn Spectrum 3 est un excellent outil pour des applications de lithographie optique de haute précision, avec une optique supérieure, un débit élevé et un faible coût de possession. Son optique avancée et ses fonctions intégrées de manipulation des plaquettes en font un outil inestimable pour les conceptions avancées des appareils, et son interface utilisateur intuitive et ses nombreuses options logicielles lui permettent d'être facilement personnalisé pour n'importe quelle application spécifique.
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