Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293761611 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293761611
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 2001
Stepper, 6"-8"
Type: Silicon
Flat notch wafer
Reticle size, 6"
DOF Monitor
Lamp intensity
i-Line and GHI
Resolution: 5 µm
(3) GHI Stepper
12-Slots reticle library
GENMARK Robot and controller
GENMARK Pre-aligner
Wafer chuck, 5"-8"
WAS Alignment
Wavelength filter
Illuminator
P/N:5000533 USHIO USH-1003FA Lamp
RASCO TBW-UD60S Chamber
Illuminator performance:
GHI Lamp: 1425 mJ/cm²
i-Line lamp: 455 mJ/cm²
2001 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 est un pas de tranche avancé conçu pour l'imagerie photolithographique haut de gamme pour l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise un étage de balayage à moteur linéaire à 9 axes couplé à un équipement de métrologie à double miroir de haute précision pour une résolution supérieure. Un système d'échange automatisé des plaquettes permet un traitement ininterrompu des plaquettes et est compatible avec les plaquettes de 2 pouces, 4 pouces et 6 pouces. Le stepper présente également une unité d'alignement optique de haute précision qui peut être ajustée pour optimiser l'imagerie des résistances à un et à plusieurs niveaux. Saturn Spectrum 3 est piloté par une interface graphique intuitive et conviviale qui facilite la configuration, l'alignement, l'échange de plaquettes et le contrôle des tâches. Des fonctionnalités avancées telles que la « Smart Auto Focus Machine » permettent une imagerie efficace dans tous les types de processus de wafer. Les temps d'installation et d'étalonnage sont minimes et des fonctionnalités comme le « Melt-On Delay » et le « Cycle-Trace » améliorent la cohérence de l'imagerie et réduisent les temps de développement des processus. Le stepper comprend également une vaste gamme d'algorithmes d'optimisation de processus et d'outils d'imagerie, tels que 'Multimédia' et 'Free LinMC', qui permettent un contrôle optimal de la dimension critique et de la largeur de ligne pour une variété d'étapes et de matériaux de processus. De plus, ULTRATECH Saturn Spectrum 3 a la capacité de s'intégrer à une gamme de systèmes de manutention de plaquettes et peut être contrôlé par un outil interne ou un emplacement distant à l'aide d'une liaison de communication ethernet. Saturn Spectrum 3 offre également une variété de paramètres environnementaux conçus pour faciliter le contrôle environnemental des grains fins. En utilisant le « Actif Monitoring Asset » exclusif, l'opérateur peut contrôler les niveaux de température, d'humidité et de vibration sur l'étage de la plaquette pour maximiser l'utilisation et le rendement de la plaquette. De plus, le stepper dispose de la fonction « Présence de cuisson automatisée » pour amorcer des conditions de cuisson optimales, tandis que la fonction « Arrêt à sec » élimine les taches potentielles lors de processus critiques pour la stabilité tels que le strippage et le collage PR. Des dispositifs de sécurité tels que la suppression d'incendie et l'arrêt d'urgence sont intégrés dans le spectre Saturn 3 ULTRATECH ainsi qu'une plaque de base absorbante pour réduire les vibrations. Il est conçu pour respecter les normes de sécurité et les certifications les plus strictes et est donc adapté aux processus d'imagerie ultra-faible contamination et ultra-précision. Saturn Spectrum 3 est le premier pas de plaquette pour la production de plaquettes semi-conductrices de haute précision de nouvelle génération.
Il n'y a pas encore de critiques