Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9186993 à vendre en France

ULTRATECH Saturn Spectrum 3 est un pas de tranche de pointe qui fournit une approche automatisée de la fabrication de semi-conducteurs. L'équipement est conçu pour faciliter la production de différentes couches de circuits intégrés. Avec un système d'alignement de vision intégré, il est capable d'enregistrement haute résolution et de précision d'exposition, assurant l'uniformité de couche à couche la plus fiable. Le spectre 3 utilise l'imagerie stéréoscopique avec 4 "wafer capacité d'adaptation, et dispose d'un quadruple étage XY unité de positionnement automatique avec 5 axes de capacité de balayage. La machine dispose également d'un outil de contrôle avancé avec un outil d'échange automatique de plaquettes et un modèle intégré de contrôle du vide. Cela permet un chargement et un déchargement faciles des plaquettes des cassettes, ainsi qu'un four de chauffage à 6 zones. Avec cette caractéristique, une exposition thermique uniforme des côtés avant et arrière de la plaquette est possible. Pour améliorer encore la précision de l'exposition, l'équipement est également livré avec une lampe à décharge à arc court à haute intensité (HID) en option. Le spectre 3 utilise un système d'inspection optique et visuelle piloté par ordinateur qui inspecte le bord du palier de la plaquette pour l'enregistrement avant de commencer une exposition. Il est capable d'enregistrement ultra-haute résolution (900nm) et dispose d'une capacité de montage simple et double. L'unité est également très flexible, offrant une compatibilité complète avec une large gamme d'environnements de traitement des plaquettes, et peut gérer les technologies actuelles de 0,25 à 28nm. La machine dispose d'un logiciel robuste qui est conçu pour maximiser le débit et l'efficacité. Son interface graphique conviviale offre une analyse des données en temps réel et hors ligne ainsi que des outils de visualisation 2D et 3D. A ce titre, le Spectrum 3 est un excellent choix pour des environnements de fabrication de semi-conducteurs de précision.