Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9281727 à vendre en France
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ID: 9281727
Style Vintage: 2010
Stepper
lluminator: 1000 W
Resolution: 2 um
Manual GHI filter changer
2010 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 est un pas de tranche de haute précision conçu pour aligner et modeler les substrats et les plaquettes dans une variété de tailles dans le cadre de la fabrication de petites puces. Ce produit prend la technologie de machine la plus avancée et la combine avec des techniques optiques sophistiquées, permettant une application extrêmement précise de motifs photolithograpiques sur un substrat ou une plaquette. Saturn Spectrum 3 se compose d'un équipement optique haute résolution monté sur un système de mouvement de précision, permettant une précision maximale d'alignement et d'application de motif. L'objectif très précis est logé dans la tête d'étage de la plaquette, offrant des performances de pas fiables et un mouvement contrôlé avec précision. Pour assurer encore la précision de la projection de motifs sur un substrat ou une plaquette, ULTRATECH Saturn Spectrum 3 est équipé d'une machine de correction de distorsion d'image qui permet à l'étape d'aligner rapidement un substrat ou une plaquette. Cet outil assure également un positionnement optimal du motif, car le pas est capable d'auto-calibrer lorsqu'il est déplacé autour de différentes positions dans la chambre de procédé. Saturn Spectrum 3 est conçu pour fournir une résolution de processus maximale de 1 micromètre sur une tranche complète ou une taille de substrat de 25 mm sur l'axe X et Y. Le profil d'exposition varie de 0,25 à 5 microns, produisant des dispositifs et des microstructures remarquablement précis. Le stepper permet l'utilisation de la lithographie en photorésist et en film sec, permettant un traitement spécial des matériaux et des fonctionnalités améliorées. De plus, le stepper est équipé d'un dispositif d'identification automatique intégré qui fournit une partie exacte à l'enregistrement des pièces afin d'assurer un alignement précis des motifs. Outre ses équipements optiques et mécaniques sophistiqués, ULTRATECH Saturn Spectrum 3 se compose également d'un logiciel de pointe qui permet un contrôle maximal des processus. Ce logiciel offre une interprétation des données en temps réel, ainsi qu'une traçabilité en ligne pour toutes les étapes de traitement. De plus, il permet une description et une adaptation précises pour différents types de lithographie. Dans l'ensemble, Saturn Spectrum 3 est un premier pas de plaquette qui offre une précision extraordinaire avec ses systèmes optiques et de mouvement très avancés. Il assure l'alignement précis et l'application de motifs pour différents types de lithographie, ce qui en fait un outil idéal pour produire des dispositifs et des microstructures très précis.
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