Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9293521 à vendre en France

ULTRATECH Saturn Spectrum 3 wafer stepper est un outil semi-automatisé conçu pour l'alignement précis et efficace et l'exposition des semi-conducteurs pendant le processus de production. Cet outil comprend un étage x-y de 9 "x9", deux étages round-robin de 8 "et une profondeur de champ de 600 mm. Il utilise un générateur de motifs numériques (PG) commandé par ordinateur qui fournit une résolution de sous-micron et fournit une précision de répétition pour le haut débit. Saturn Spectrum 3 wafer stepper est construit sur un cadre robuste qui fournit une stabilité considérable que l'outil traite les plaquettes. Ses deux étages ronds de 8 pouces permettent un alignement et un positionnement précis de la plaquette lors de l'exposition, ce qui permet un traitement double côté, un balisage multi-niveaux et un débit élevé. En outre, les trois axes de l'outil peuvent travailler ensemble pour faciliter les opérations les plus avancées pour le traitement des semi-conducteurs. Une partie de la suite logicielle pilotée par PG incluse avec l'outil est une fonction autoalign qui aide pendant la configuration et le réglage de la plaquette. Cette fonction permet non seulement d'augmenter le débit, mais aussi d'assurer un alignement optimal à mesure que la plaquette est mise en place pour chaque couche d'exposition. Le système optique de 2000 lignes/mm offre des images claires des motifs en éliminant la distorsion géométrique et l'éruption de la lumière qui peuvent se produire à des niveaux d'NA plus élevés. En combinaison avec une couche de faisceau ionique focalisée, ULTRATECH Saturn Spectrum 3 wafer stepper offre un système entièrement automatisé qui supprime les processus manuels. Sa faible dérive thermique garantit une précision compensée par la température, tandis que ses faibles coûts de maintenance en font un outil idéal pour une variété de procédés et de substrats. En outre, son logiciel piloté par ordinateur assure une précision et une sortie répétable, permettant une flexibilité et de bons résultats même dans des cycles de production étendus. Saturn Spectrum 3 wafer stepper offre un traitement avancé et automatisé des semi-conducteurs avec précision et précision. Sa précision contrôlée par ordinateur, ses capacités x-y et son traitement double côté en font un outil puissant dans la production des substrats les plus avancés.