Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9163594 à vendre en France

ULTRATECH Saturn Spectrum 300 wafer stepper est un outil polyvalent et économique pour la production de photomasques. L'équipement est équipé avec une grande précision, un alignement de plaquettes peu coûteux et des capacités de fixation. Il peut fournir une lithographie précise avec un haut degré de précision pour les petites caractéristiques des dispositifs semi-conducteurs d'aujourd'hui. Le spectre 300 dispose d'un champ d'exposition de 6 « x 6 », avec un champ de vision accéléré jusqu'à 6,8 « x 6,8 ». Le stepper dispose d'un intervalle réticule-plaquette de 4,3 pouces qui permet une imagerie de haute fidélité sur plusieurs appareils sur un seul substrat. Le stepper a également la capacité d'image à l'aide de différentes énergies d'exposition ainsi que d'utiliser à la fois des processus de déphasage et d'imagerie sans chromage. Le système est équipé d'une fonction de réglage de hauteur incrémentale, qui permet d'effectuer une correction de la tranche à la tranche sans avoir à déplacer physiquement les étages de la tranche. L'unité dispose également de la technologie d'imagerie sans champ électrique (EFF), qui élimine la distorsion d'image qui peut se produire lors de l'imagerie de masque classique. En termes de fidélité à l'image, le Spectrum 300 offre une excellente résolution avec un trajet optique laser de 8 pouces et une machine d'entraînement linéaire. Le stepper fournit également une productivité élevée avec sa capacité d'analyse à trois champs et son débit élevé. L'outil peut atteindre un taux de scan total allant jusqu'à 3200um/seconde. L'actif peut être configuré pour avoir un total de 16 expositions, ce qui permet de superposer des images et d'étendre la lithographie à plusieurs meurtres. Le Spectrum 300 est capable d'imiter les réseaux binaires et Leff, ainsi que les motifs de répétition. Le modèle a une résolution de 0,25 μ m, avec objectif activé talbot, ce qui le rend adapté à des applications de lithographie avancées et exigeantes. L'équipement a une portée de déplacement totale de 25mm en x et y avec une précision de +/- 2 μ m. En termes de sécurité, le Spectrum 300 est livré avec plusieurs fonctionnalités et options, telles que : Obturateur de sécurité oculaire, fonctionnement à double chaîne et arrêt de travail. Le stepper dispose d'un système de contrôle conforme à la technologie CE et d'une interface graphique conviviale, permettant un fonctionnement facile. Saturn Spectrum 300 wafer stepper est un outil économique et fiable pour la production de photomasques. L'unité est équipée de plusieurs caractéristiques qui permettent une imagerie précise et précise, un haut degré de productivité et de fidélité à l'image ainsi que des caractéristiques de sécurité qui rendent la machine adaptée à diverses applications de lithographie.