Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9312357 à vendre en France
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ID: 9312357
Taille de la plaquette: 8"-12”
Style Vintage: 2002
Stepper, 8"-12"
Illuminator: 1200 Watts
(4) EFEM
Wep
Resolution: 2 um
GHI Filer changer
MVS PatMax
No lens data
2002 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 300 est un pas de tranche avancé qui offre une flexibilité supérieure dans la préparation de photomasques pour la fabrication de semi-conducteurs. Il fonctionne en conjonction avec un équipement de cassage automatisé de plaquettes, assurant une exposition et une livraison uniformes du substrat. Saturn Spectrum 300 offre une variété de fonctionnalités importantes pour le traitement du substrat, y compris un étage de plaquettes de 200mm, une caméra de 6M pixel, et un moteur de 50.000 tr/min pour l'entraînement de la plaquette. Il est capable de scanner l'exposition dans des formats standard et non standard, et est livré avec des caractéristiques spéciales telles que la rotation automatique du motif, la vérification du motif laser, l'enregistrement du motif, et l'exposition du substrat dépendant du motif. Il dispose également d'une interface graphique intuitive, permettant aux utilisateurs de programmer et de surveiller facilement leurs opérations de photomasking. Ce pas de plaquette avancé est conçu pour traiter divers matériaux de substrat, y compris le verre, le quartz et le polyimide. La grande sensibilité du système lui permet de placer avec précision et précision des motifs sur des substrats avec un minimum de distorsion. Il est également capable de piquer des motifs lors du balayage avec une très faible distorsion. ULTRATECH Saturn Spectrum 300 fournit une dose d'exposition constante sur les substrats de plaquettes, permettant des temps de production plus rapides et moins de problèmes avec des motifs non évolutifs. L'unité peut être programmée pour créer plusieurs balayages du même motif sur le même substrat de plaquette, ce qui augmente le débit et la productivité. La machine peut également être utilisée pour mesurer la dose avec une précision allant jusqu'à quelques pour cent. Saturn Spectrum 300 est conçu pour intégrer des caractéristiques de sécurité complètes, y compris un dispositif de sécurité intégré pour protéger la plaquette contre les rayons UV et E-faisceau. D'autres caractéristiques de sécurité comprennent une grille optique pour éviter les dommages optiques au substrat, et un filtre anti-éblouissement pour éliminer l'effet de la lumière parasite. L'outil intègre également un système de refroidissement à deux étages pour garantir une plage de température précise et une performance optimale du procédé. ULTRATECH Saturn Spectrum 300 est capable de produire des motifs à haute résolution avec la plus grande fiabilité. Sa technologie avancée axée sur les algorithmes lui permet d'obtenir la plus grande précision et répétabilité. Il offre un support inégalé pour un large éventail d'opérations de processus, y compris l'exposition du substrat, la mise en scène du substrat, l'enregistrement de motifs, et plus encore. Grâce à sa conception conviviale et à ses fonctionnalités avancées, Saturn Spectrum 300 wafer stepper est un outil essentiel pour les opérations Fab semi-conducteurs.
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