Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9357231 à vendre en France
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ID: 9357231
Taille de la plaquette: 12"
Stepper, 12"
Lens: 2.0µm
Robotic wafer handler, 8"-12"
Environmental chamber
Reticle library
Light pipe: 44 x 26.7 mm
Illuminator: 1000w
Lens alignment
Automatic enhanced global alignment
Air probe focus detector
3-Point focus detector
Linear motor: X, Y stage
MVS Pattern recognition system
Closed loop exposure dose controller
Vibration isolation system
Auto-uniformity
Dynamic focus
SECS II Compatibility
Bottom-side prism protection pellicle
Dual flip aperture broadband
Intensity: 1650mW
Uniformity: 7%
DOF: 2µm.
ULTRATECH Saturn Spectrum 300 est un pas de plaquette haute performance spécialement conçu pour la production en série de dispositifs semi-conducteurs avancés. La machine obtient d'excellents rendements et performances de débit dans le traitement des semi-conducteurs, avec une surface de travail de 30 x 30 cm. Il s'agit d'un pas de projection intégré hybride doté d'un équipement d'objectif de grande taille et d'une capacité de balayage entièrement automatisée, ce qui le rend adapté aux applications de lithographie de sous-microns. Le système est équipé de deux systèmes d'imagerie photonique indépendants, lui permettant de gérer la stéréo-lithographie sans avoir besoin d'un adaptateur photomasque. Il est capable de manipuler des photorésists positifs et négatifs, ce qui le rend idéal pour résister au traitement. De plus, la caractéristique unique « edge-plunge » permet un positionnement précis des contacts sur la plaquette. Saturn Spectrum 300 utilise une unité avancée de commande de mouvement à neuf axes pour obtenir une répétabilité et une stabilité précises pendant l'exposition aux semi-conducteurs. Il est conçu pour être très stable et fiable, et est capable de perdre moins de 5 % de sa surface totale de balayage en cours d'exploitation. La machine est conçue avec moins de pièces mobiles que les marches traditionnelles, ce qui augmente l'efficacité et réduit les coûts de maintenance. Il est construit avec une voie optique principale tout verre, assurant des performances élevées et un taux de distorsion ultra bas. En outre, il utilise un brouillard air-eau pour le refroidissement, assurant une refroidissement uniforme sans affecter le trajet optique. Cela aide à améliorer les performances d'image et de débit. ULTRATECH Saturn Spectrum 300 est contrôlé par un logiciel puissant mais convivial, offrant aux utilisateurs une facilité de fonctionnement et une flexibilité pour diverses exigences de traitement des semi-conducteurs. Il offre également des fonctionnalités avancées de gestion des données, telles que la correction automatique des erreurs et une machine de rappel de balayage complet. Saturn Spectrum 300 est un outil idéal pour le traitement des semi-conducteurs de pointe. Il offre des rendements et des débits supérieurs avec un minimum de perturbations causées par des changements de taille ou de matériau, et est très fiable et rentable. Il est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de précision et de précision, et offre les derniers niveaux de performance pour la production des dispositifs semi-conducteurs les plus avancés d'aujourd'hui.
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