Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9160685 à vendre en France

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e est un pas de plaquette à usage général haute performance capable de produire des plaquettes avec des caractéristiques dans la gamme de 15 nm. Il dispose d'une large gamme de modules et d'options, permettant divers niveaux de personnalisation, et son équipement d'alignement automatisé à grande vitesse garantit un positionnement précis. Le pas de plaquette est conçu autour d'un étage motorisé, XY et Z positionneur, pour un alignement étape-répétition précis, et un système d'éclairage haute résolution, pour éclairer les plaquettes individuelles avec un éclairage uniforme. L'étape est entraînée par un moteur à courant alternatif monté sur la scène, qui est capable de délivrer un mouvement linéaire jusqu'à 0,1 µm de résolution. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E dispose également d'une unité de capture d'image haute vitesse, pour acquérir des images des plaquettes jusqu'à 5 Hz par trame. Cette machine est capable de détecter de petits défauts et différences, même dans des caractéristiques de dimensions inférieures à 15 nm. En plus de l'équipement, Saturn Spectrum 3e est livré avec une suite de programmes conçus pour le balisage, l'inspection, la métrologie et la gestion du flux de travail de fabrication. Il est également compatible avec plusieurs logiciels et formats standard, tels que GDS, CDL, VHDL, CIF et OASIS, permettant une plus grande flexibilité dans la personnalisation et l'intégration du flux de travail existant. L'amplificateur de plaquettes offre jusqu'à 50 options de placement de plaquettes, de sorte que les utilisateurs peuvent aligner le mandrin principal pour optimiser l'éclairage et la couverture d'image. Il dispose également d'un illuminateur puissant construit sur mesure, capable de délivrer jusqu'à 1,2 kW d'éclairage UV. SATURN SPECTRUM 3 E intègre une technologie brevetée d'alignement des outils en boucle fermée, permettant une précision de positionnement extrêmement précise dans l'établissement des caractéristiques avec des dimensions aussi petites que 15 nm. Il dispose également d'emboîtements de mandrin améliorés qui assurent que l'alignement de la plaquette reste optimisé pour les expositions multiples. ULTRATECH Saturn Spectrum 3e est un pas de plaquette fiable et performant, capable de produire des plaquettes de précision avec des caractéristiques allant jusqu'à 15 nm. Avec son éclairage puissant, son alignement précis et son intégration logicielle polyvalente, ce pas de plaquette est idéal pour une variété d'applications et de flux de travail.