Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9232658 à vendre en France

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e (Spectrum 3e) est un pas de tranche avancé conçu pour fournir une exposition de substrat de haute précision pour la fabrication de microélectroniques. Doté d'un équipement de métrologie à simple réflexion en attente de brevet ULTRATECH, il utilise la technologie la plus récente pour fournir des résultats précis et reproductibles pour n'importe quel substrat de taille. Les optiques avancées du spectre 3e sont conçues pour fournir une superposition précise pour la tranchée, l'isolement, la lithographie, la gravure diélectrique et plus encore. Il dispose d'un système AutoFocus sans contact, à faible bruit et à faible entretien qui s'adapte rapidement aux variations de hauteur du substrat. L'unité avancée d'imagerie et d'inspection à haute résolution aide à prévenir les défauts tout en fournissant une résolution de 2 microns sur l'ensemble du terrain. De plus, une machine d'exposition améliorée offre une gamme flexible de wafer et d'exigences d'exposition aux procédés. Le dispositif utilise un outil de positionnement de scène de pointe pour la robotique de précision, assurant une précision constante à tous les niveaux de focalisation. Son alignement avancé de calibration multi-points vérifie et enregistre la position de chaque substrat. Le spectre 3e dispose également d'une source laser personnalisée, utilisant des lasers de teinture et des lasers semi-conducteurs pour améliorer les capacités d'imagerie et de gravure. Le spectre 3e comprend un logiciel complet pour améliorer le contrôle des processus, y compris des options de programmation pour personnaliser les recettes pour chaque exposition. L'appareil est également équipé d'un prédicteur interne pour le temps d'exposition et la précision du doseur. En outre, un actif de surveillance en ligne leader dans l'industrie fournit aux opérateurs des commentaires en temps réel sur la performance des appareils. En termes de sécurité, le spectre 3e est évalué UL/ENL pour la sécurité, et dispose d'un modèle de suivi des stats de mouvement pour détecter toute anomalie de l'équipement. En outre, l'appareil intègre les dernières capacités de diagnostic pour aider à assurer une sécurité optimale tout en réduisant les temps d'arrêt. Complet et précis, ULTRATECH Spectrum 3e wafer stepper est un choix idéal pour toute installation de microélectronique cherchant à maximiser la précision du substrat et à traiter de façon compatible. Son système d'optique et d'imagerie de pointe offre une précision et une efficacité de processus imbattables, tandis que ses caractéristiques de sécurité complètes garantissent la fiabilité des processus.