Occasion ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9378645 à vendre en France

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e est une plaque de précision Stepper de pointe développée par ULTRATECH. Il dispose d'un étage automatisé de haute précision qui déplace les plaquettes avec une meilleure uniformité et précision que les solutions pas à pas compétitives. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E effectue des analyses d'exposition précises sur la plaquette à l'aide d'un équipement ultra-précis Zeiss Carl Zeiss Optics Beam Path. Le système optique se compose d'un laser de grande puissance, d'une lentille d'éclairage et d'une lentille de projection pour capturer les motifs d'une plaque de masque sur la plaquette. Saturn Spectrum 3e dispose d'une unité avancée « Autofocus Sequence Control » (ASCS) qui permet à l'opérateur d'optimiser les paramètres de mise au point pour les besoins de travail désirés. La machine ASCS fournit également des profils macro et micro-lentilles qui ajustent l'intensité et la focalisation du laser pour garantir des images de haute qualité. SATURN SPECTRUM 3 E est équipé d'un laser à l'état solide de 25W qui utilise la technologie d'écriture directe pour réduire le temps de recul et améliorer la qualité des motifs écrits sur la plaquette. Cet outil laser innovant est capable de scanner de petites tailles de fonctionnalités avec une excellente acuité de bord et une excellente profondeur de focalisation. ULTRATECH Saturn Spectrum 3e dispose d'un module de contrôle de processus entièrement automatisé qui permet aux opérateurs de surveiller les variations de processus en cours et fournit des capacités de diagnostic prédictif. Ce module permet également aux opérateurs d'ajuster les paramètres de chaque plaquette en fonction de son matériau et de sa recette de processus sans avoir à modifier manuellement les réglages de l'étape. Les capacités d'optimisation en boucle fermée du stepper permettent un réglage plus précis avec plus de précision La conception de l'ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E permet un débit et une précision élevés pour une variété d'applications de traitement de circuits semi-conducteurs. Cette étape offre des performances rapides, fiables et rentables pour des procédés tels que la photolithographie, le broyage d'ions et le dépôt physique en phase vapeur. Il est conçu pour fonctionner avec des matériaux optiques et thermiquement stables. Saturn Spectrum 3e est livré avec une grande variété d'options telles que des outils programmables de correction d'erreurs, des masques d'exposition spécialisés, des fonctionnalités d'automatisation avancées, des fonctionnalités d'auto-réglage et d'auto-alignement, et une suite de métrologie sophistiquée qui prend en charge une variété de techniques d'optique en ligne et de balayage. En conclusion, SATURN SPECTRUM 3 E est un pas de plaquette de haute précision de pointe qui offre des performances de pointe pour les procédés de balisage avec une large gamme de matériaux de substrat. Il dispose de fonctionnalités très précises et automatisées qui aident à réduire la variation des processus et fournissent des performances de processus fiables. C'est l'outil idéal pour les applications de modélisation de précision dans l'industrie des semi-conducteurs.