Occasion ULTRATECH Spectrum 3e #9249076 à vendre en France

ULTRATECH Spectrum 3e
ID: 9249076
Stepper.
ULTRATECH Spectrum 3e est un pas de tranche de milieu de gamme haut de gamme conçu pour être une solution rentable aux exigences des applications de lithographie émergentes. Ce pas est conçu pour fournir une imagerie précise et répétable des plaquettes. Spectrum 3e est capable de produire des images de wafer de la plus haute qualité avec précision et répétabilité, et fournit un contrôle de processus supérieur des paramètres de lithographie critiques pour des performances cohérentes. ULTRATECH Spectrum 3e dispose d'une gamme de fonctionnalités avancées et d'outils puissants pour augmenter la précision de débit et de sortie. L'équipement d'interfaçage convivial permet un contrôle précis des paramètres d'imagerie et une mise en place rapide, ce qui rend cet étage parfait pour un temps de traitement rapide et des résultats de haute qualité. La tête de lithographie de la machine offre une ouverture numérique et une détection de déviation variables, améliorant la taille et la répétabilité des marches sans compromettre la précision. De plus, l'égaliseur optique intégré offre une précision précise pour la saisie et l'alignement des réticules difficiles. Le stepper abrite également un système de mesure de superposition intégré qui offre des mesures non-contact, non-destructives des couches 3D et des hauteurs d'image de masque. En outre, les lampes UV LED ou à arc de mercure peuvent être utilisées pour l'exposition, ce qui permet d'optimiser les exigences de processus et de résolution, tout en maintenant une faible introduction de particules et la qualité de l'image. L'unité intégrée d'inspection des réticules a des capacités de résolution supérieures, permettant un débit et un rendement plus élevés. Le scanner réticule avancé de Spectrum 3e peut détecter avec précision des défauts aussi petits que 0,3 micron, permettant de détecter même les défauts et anomalies les plus difficiles. Cette machine supporte également les capacités de balayage 2-D et 3-D des vues obliques et de profil. ULTRATECH Spectrum 3e offre également une gamme d'autres fonctionnalités qui contribuent à son statut d'outil performant et rentable. Il fournit des basses de retenue de vide, des étages de hauteur réglables, et un actif de surveillance de niveau automatique qui peut alerter l'utilisateur lorsqu'un paramètre critique change de façon inattendue. De plus, une pompe sèche MOSFET de pointe contrôle la pression d'air et le débit de gaz, tandis que les régulateurs de débit massique contribuent à assurer un environnement propre et à prévenir la contamination. Spectre 3e est un pas de plaquette fiable et capable, offrant une solution d'imagerie très précise et répétable pour tous vos besoins de lithographie. Ses fonctionnalités puissantes et ses technologies de pointe permettent à ULTRATECH Spectrum 3e d'offrir des performances supérieures, conduisant finalement à une meilleure qualité et à un rendement accru.
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