Occasion ULTRATECH Unity AP300 #9247822 à vendre en France
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ID: 9247822
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Stepper, 12"
2009 vintage.
ULTRATECH UnityTM AP300 est une, gaufrette de haute précision flexible stepper pour l'exposition de lithographie de précision d'appareils microélectroniques. Il est conçu pour la production à haut débit de dispositifs submicroniques, avec une capacité d'enregistrement de sous-microns autour de toute la taille de la matrice. Il est doté de technologies de traitement de nouvelle génération, y compris la gestion du travail, la conception d'ouverture, la modélisation multicouche et l'alignement de superposition. Il utilise une source d'éclairage UV avec 75 um d'ouverture numérique. Il supporte à la fois les expositions de projection par étapes et par répétition et les expositions de projection en plein champ. Il a un porte-réticule breveté et inclinable, ce qui simplifie la programmation de l'exposition, l'exposition au modèle et l'alignement. En outre, il dispose d'un équipement sous vide innovant et convivial qui minimise la contamination et les rejets construits sur la plate-forme. Le système comporte un étage asservi de précision pour le déplacement du substrat et un codeur haute résolution pour une rétroaction de position précise. Il dispose d'une sonde indépendante à double contact pour une grande précision d'alignement de recouvrement. Sa conception de support permet un chargement rapide et facile des plaquettes, la manipulation, l'alignement et l'exposition des matrices haute densité. Il permet également un accès facile au réticule et dispose d'une machine de transport autosurveillante. Il dispose également d'un outil de surveillance en réseau pour assurer une production efficace et l'intégrité des processus. Le contrôleur comprend à la fois un PC compatible PC et un contrôleur dédié ULTRATECHTM Progmatic 2.0. Le PC-Compatible PC est un actif multi-processeur haut de gamme avec une suite complète d'applications PC. Ce modèle comprend une interface conviviale permettant la conception de la matrice, le réglage réticulaire et l'optimisation des processus en réseau neuronal. Le Progmatic 2.0 Controller est un véritable contrôleur robotique à architecture ouverte et multi-tâches qui gère l'automatisation des paliers et les fonctions de la machine. Il offre un large éventail de capacités sophistiquées pour répondre aux performances et à la fiabilité haut de gamme requises pour la production lithographique à haut volume. ULTRATECH UnityTM AP300 a été conçu pour satisfaire les besoins de lithographie de la haute qualité, en accomplissant une exactitude d'exposition de 0.3um (3.0σ). Il offre également une exposition haute vitesse de 20nm et plus, permettant une production à haut débit de dispositifs avancés et ultra-petits. Il répond aux exigences de lithographie les plus strictes pour les circuits intégrés de faible puissance et de haute performance. Dans l'ensemble, il fournit une solution rentable pour une exposition lithographique de haute précision, ultra-fiable et la production de microélectronique avancée.
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